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優良体層の英語
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この略単結晶状態の半導体膜265aを半導体装置の能動層(ソース領域、ドレイン領域及びチャネル領域)に用いることで、オフ電流値が小さく移動度の大きな優良な半導体装置を形成する。例文帳に追加
Using the semiconductor film 265a in the approximately single crystal state in the active layer of the semiconductor device (source region, drain region and channel region), the excellent semiconductor device is formed with a small off-current value and large mobility. - 特許庁
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