微動アレイの英語

レンズ２は微動ステージ上に配置されているため、微動ステージを移動することにより、アレイ状に並べられた複数本の出力光ファイバ３のうち、選択された１つの出力光ファイバに出力される。例文帳に追加

The lens 2 is arranged on a finely moving stage, so that the finely moving stage is moved to output the light to one selected output optical fiber among the plurality of output optical fibers 3 which are arrayed. - 特許庁

さらに、散乱体２５にＥＵＶ光を照射し、散乱したＥＵＶ光の第３強度分布を２次元アレイセンサーＳＥで検知し、第３強度分布に応じて、光源６を光源微動機構２３によって移動させる。例文帳に追加

Further, a scatterer 25 is irradiated with the EUV light and a third intensity distribution of the scattered EUV light is detected by a two-dimensional array sensor SE, and then the light source 6 is moved by the light source fine movement mechanism 23 according to the third intensity distribution. - 特許庁