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振せん描画図の英語
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該当件数 : 1件
本発明は,従来の問題に対処し、粒子線ビーム描画装置などにおいて基板上にパターンを描画するにあたり,ステージの振動低減による位置決め精度の向上を図ることにより、基板のパターン描画位置精度を向上させるようにしたものである。例文帳に追加
The stage driving unit for a charged beam drawing device uses the charge beam drawing device for forming a circuit pattern of a semiconductor device on the surface of the substrate and positions a stage where the substrate is installed when forming a circuit pattern. - 特許庁
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