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G走査の英語
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「G走査」を含む例文一覧
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In a scanning aligner, the moving zone of the stage during the scanning exposure of each exposure region on a wafer is composed of an acceleration zone (A, B, C), a constant speed zone (D), and a deceleration zone (E, F, G).例文帳に追加
走査露光装置において、ウエハ上の各露光領域の走査露光におけるステージの移動区間は、加速区間（Ａ，Ｂ，Ｃ）、等速区間（Ｄ）及び減速区間（Ｅ，Ｆ，Ｇ）で構成される。 - 特許庁
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