Single-Substrate Processingとは 意味・読み方・使い方

To provide single wafer substrate processing equipment and a method for achieving high efficiency drying when a substrate is processed by single wafer processing while preventing condensation of organic solvent used in dry processing.例文帳に追加

枚葉式で基板を乾燥させる際、乾燥処理に用いる有機溶剤の蒸気の結露を防止しながら高効率な乾燥を実現する枚葉式の基板処理装置および基板処理方法を提供する。 - 特許庁

METHOD OF PROCESSING SINGLE CRYSTAL SILICON CARBIDE SUBSTRATE, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND SEMICONDUCTOR ELEMENT例文帳に追加

単結晶炭化ケイ素基板の処理方法、半導体素子の製造方法、及び半導体素子 - 特許庁

To provide a substrate support unit for supporting semiconductor substrates in a single wafer processing system, and to provide a substrate polishing apparatus using the substrate support unit to polish and clean substrates.例文帳に追加

半導体基板を枚葉処理方式に支持する基板支持ユニットと、これを利用して基板を研磨、及び洗浄する基板研磨装置を提供する。 - 特許庁

To provide a cutting processing method capable of subjecting a single crystal sapphire substrate to cutting processing of high precision in the direction parallel to a (11-20) plane (a-plane) in the cutting processing of the single crystal sapphire substrate due to a super-abrasive particle wire saw, and a cutting device therefor.例文帳に追加

単結晶サファイヤ基板の超砥粒ワイヤソーによる切断加工において、（１１−２０）面（ａ面）と平行な方向に高精度な切断加工を可能にする切断加工法と、その切断装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a single-crystal substrate without causing breakage such as a crack in processing.例文帳に追加

加工時に割れ等の破損が生じることがない単結晶基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a silicon carbide single crystal substrate which has been subjected to a work-affecting layer removal processing under practical conditions, and to provide a method of efficiently manufacturing the silicon carbide single crystal substrate.例文帳に追加

実用的な条件によって加工変質層が除去された炭化珪素単結晶基板および炭化珪素単結晶基板を効率的に製造する方法を提供する。 - 特許庁

On the basis of the single batch schedule, the external computer C generates an overall schedule including all the single batch schedules of the first substrate processing apparatus A arranged therein.例文帳に追加

外部コンピュータＣは、単バッチスケジュールとに基づき、第１の基板処理装置Ａの全ての単バッチスケジュールを配置する全体スケジュールを作成する。 - 特許庁

To provide a resist film drying system which can substantially reduce the processing time that is required for a single glass substrate.例文帳に追加

一枚のガラス基板に要する処理時間の短縮が大幅に可能なレジスト膜乾燥システムを提供する。 - 特許庁