aperture compensatorとは 意味・読み方・使い方

The phase compensator does not compensate the laser beam having the wavelength λ3 regarding a part larger than the numerical aperture NA3.例文帳に追加

また、開口数ＮＡ３より大きい部分は波長λ３のレーザビームについては補正しない。 - 特許庁

A mesh screen 9 having 50-1,000 mesh aperture and ≥5.0% elongation is attached to at least a part of the members and equipment (a target holding/controlling part 2, a shield plate 3, a substrate holder 5, a stage 6, a compensator 7, etc.), held in the film deposition chamber 10.例文帳に追加

成膜チャンバー１０内に収容されている部材及び機器（ターゲット保持・制御部２、シールド板３、基板ホルダー５、ステージ６、及び補正板７など）の少なくとも一部に、目開きが５０〜１０００メッシュで、伸長度が５．０％以上のメッシュスクリーン９を取り付ける。 - 特許庁

The phase compensator is insensitive to the laser beams having the wavelength λ1 and the wavelength λ2, and reduces wavefront aberration generated when making a laser beam having a wavelength λ3 incident directly on the objective lens regarding a part of a numerical aperture NA3 or smaller than this.例文帳に追加

位相補償板では、波長λ１と波長λ２のレーザビームに対しては不感であり、開口数ＮＡ３以下の部分について波長λ３のレーザビームを開口数ＮＡ３により対物レンズに直接入射したときに発生する波面収差を低減する。 - 特許庁