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backscattered-electron coefficientとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 反射電子放出率
「backscattered-electron coefficient」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
Since a backscattered electron scattering coefficient of beryllium is smaller compared with that of soft iron or the like, the re-reflecting rate of the electron reflected from the charged beam irradiation surface of the wafer to the opposing surface becomes low, thereby preventing fogging exposure due to a fogging effect.例文帳に追加
ベリリウムは軟鉄等に比べ反射電子散乱係数が小さいので、ウェハの荷電ビーム照射面から対向面に反射した電子が、ウェハ方向に再反射される率が低くなり、ｆｏｇｇｉｎｇ効果によるかぶり露光を防ぐ。 - 特許庁
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