electron density mapとは 意味・読み方・使い方

The electron beam aligner comprises an area density map creation means 3 that divides a fixed region irradiated with electron beams by a mesh, obtains the ratio of a pattern area to be applied to the divided region to the area of each divided region, and creates an area density map; and a proximity-effect correction means 2 for correcting the amount of exposure of electron beams, by referring to the area density map.例文帳に追加

電子ビーム露光装置は、電子ビームが照射される一定の領域をメッシュにより区分けし、各区分けされた領域の面積に対する該区分けされた領域に照射される予定のパターン面積の比率を求めて面積密度マップを作成する面積密度マップ作成手段３と、面積密度マップを参照して電子ビームの露光量を補正する近接効果補正手段２とを有する。 - 特許庁