fluoride dropsとは 意味・読み方・使い方

Then, the reaction chamber 11 and a piping 63a are heated up to 100 to 150°C, and while the piping 63a is kept at a pressure of 10 to 30 kPa by the combination valve CV, hydrogen fluoride is supplied for cleaning through inlets 64a to 64c from a gas source 35d to points, where exhaust gas drops in conductance and temperature.例文帳に追加

次いで、反応室１１と配管６３ａとを１００℃〜１５０℃に加熱し、コンビネーションバルブＣＶにより配管６３ａ内を１０ｋＰａ〜３０ｋＰａの圧力に維持しつつ、排気ガスのコンダクタンスや温度の低下が起きる箇所に、インレット６４ａ〜６４ｃからガス源３５ｄのフッ化水素を供給し、洗浄する。 - 特許庁