hot cathodesとは 意味・読み方・使い方

This heat-reflecting plate 26 is disposed in the neighborhood of filaments 21a, 22a of hot cathodes fluorescent lamps 21, 22.例文帳に追加

この熱反射板２６は、熱陰極蛍光ランプ２１、２２のフィラメント２１ａ、２２ａの近傍に配置される。 - 特許庁

When a protective film 12 of 1.0 μm thick or above is applied and an oxide film 16 thick enough (e.g. several tens nm) to increase the capacitance at least for a wafer holder is provided on the rear surface of an Si wafer 10, arc power of the Si wafer is lowered and generation of hot spots (hot cathodes) can be suppressed.例文帳に追加

このとき、１．０μｍを越える厚さの保護膜１２を被覆し、かつ、Ｓｉウェハ１０裏面には少なくともウェハホルダとの間のコンデンサー容量を上げ得る厚さ（例えば数十ｎｍ）の酸化膜１６を設けておけば、Ｓｉウェハにおけるアークパワーは下げられ、ホットスポット（熱陰極）の発生を抑える。 - 特許庁