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METHOD FOR PATTERN-FORMING BURIED OXIDE FILM THICKNESS FOR SIMOX (SILICON IMPLATED OXIDE) PROCESS例文帳に追加
ＳＩＭＯＸ（酸素注入による分離）工程のために埋込み酸化膜厚さをパターン形成する方法 - 特許庁
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implate
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