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indirect evaluation methodとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 3件
INDIRECT QUALITY EVALUATION METHOD FOR GETTERING LAYER FORMED ON WAFER BACKSIDE例文帳に追加
ウェーハ裏面に形成されるゲッタリング層の良否の間接評価方法 - 特許庁
INDIRECT EVALUATION METHOD OF FIXATION OF TARGET SUBSTANCE TO FINE PARTICLES例文帳に追加
微粒子への対象物質の固定化の間接評価方法 - 特許庁
To provide an indirect evaluation method by which the quality of a gettering layer formed on a backside of a wafer can be more easily and correctly confirmed compared to the conventional method.例文帳に追加
本発明の目的は、従来の方法に比べて、簡易かつ正確に、ウェーハ裏面に形成されるゲッタリング層の良否を確認することができる評価方法の提供することにある。 - 特許庁
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