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interstitial volumeとは 意味・読み方・使い方
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The SOI wafer is composed of a carrier wafer and a monocrystalline silicon layer having a thickness of less than 500 nm, excess of interstitial silicon atoms prevailing in the entire volume of the silicon layer.例文帳に追加
支持基板と、５００ｎｍよりも薄い厚さを有する単結晶シリコン層とを有し、前記のシリコン層の全体積中で格子間ケイ素原子の過剰が優勢であるＳＯＩ基板 - 特許庁
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