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isotropic textureとは 意味・読み方・使い方
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「isotropic texture」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
Because of the etching rate difference between SF6 gas and HCl gas for the same crystallographic plane, the etching becomes hard to proceed in isotropic basis, and texture is produced on the surface of the semiconductor substrate 3 even with plasma etching equipment of low impact energy.例文帳に追加
すると、同一面方位についてのSF_6ガスとHClガスとのエッチレートの差によって、エッチングが等方的に進行しにくくなり、イオン衝突エネルギーが低いプラズマエッチング装置1でも、半導体基板3の表面にテクスチャーを形成することができる。 - 特許庁
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