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意味・対訳 ライナーセメンチング
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該当件数 : 1件
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A Damascene interconnection is formed by removing excess metallic film and liner film on the outside of an interconnection trench by CMP method using slurry containing a polishing agent produced by cementing a plurality of active particles (silica) 1 through an inactive body (PMMA) 12.例文帳に追加
複数の活性粒子（シリカ）１１を不活性体（ＰＭＭＡ）１２で固めた構成の研磨剤を含むスラリーを用いたＣＭＰ法によって、配線溝の外部の余剰な金属膜およびライナー膜を除去し、ダマシン配線を形成する。 - 特許庁
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1
ライナーセメンチング
JST科学技術用語日英対訳辞書
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