mathematizedとは 意味・読み方・使い方

Dispersions corresponding to a layout pattern and arrangement of elements used in the semiconductor device are mathematized into a mathematical expression including parameters (S110).例文帳に追加

まず、半導体装置に用いられる素子のレイアウトパターンおよび配置に対応したバラツキを、パラメータを含む数式に数式化する（Ｓ１１０）。 - 特許庁

The relation between facility parameters and formed film thicknesses is mathematized in advance by using a monitor substrate, an actually formed film thickness is estimated by using a numerical formula (S14), and CMP conditions are managed according to the estimated film thickness (S15) to precisely predict a thin film thickness, thereby reducing the consumption of monitor wafers.例文帳に追加

あらかじめ、モニター基板を用いて設備パラメータと形成膜厚の関係を数式化し、この数式を用いて実際に形成された膜厚を推測し（Ｓ１４）、推測した膜厚に応じてＣＭＰ条件を管理することにより（Ｓ１５）、薄膜膜厚を精度よく予測し、モニターウエハ使用量を削減することができる。 - 特許庁