nanometer lithographyとは 意味・読み方・使い方

To form a quantum wire of nanometer size using a semiconductor substrate, e.g. an Si substrate, and genera film deposition technology, lithography technology and etching technology.例文帳に追加

Ｓi基板等の半導体基板を用い、一般的な成膜技術,リソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、ナノメータサイズの量子細線を形成する。 - 特許庁

To provide a stable three-dimensional microfabrication method in the precision of a nanometer order without using a complicated chemical machining process such as lithography and also without being accompanied with the generation of heat as shown in conventional laser beam machining.例文帳に追加

リソグラフィーのような複雑で化学的な加工プロセスを使用することなく、且つ従来のレーザー加工に見られた熱の発生を伴わないナノメートルオーダー精度の、かつ安定した３次元微細加工方法を提供する。 - 特許庁