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Relating to the method for fabricating a locally passivated germanium-on-insulator substrate, in order to achieve high electron mobility, nitridized regions are formed at localized positions.例文帳に追加
本発明は、局所的に不動態化されたゲルマニウムオンインシュレータ基板を製造するための方法に関し、電子の高移動度を実現するために、窒化された領域が局所化された位置に形成される。 - 特許庁
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