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In the CZ method based single crystal pulling-up equipment, a touch sensor is installed between the cooler 19 and other members order to detect immediately and precisely the clash between them and then to immediately retreat the cooler 19 from a risky area.例文帳に追加
例えばクーラー１９と他の部材との間でタッチセンサを形成することによってそれらの間の衝突を迅速かつ適確に検知し、当該迅速かつ適確な検知に基づいてクーラー１９を危険箇所から迅速に退避させるようなＣＺ法単結晶引上げ装置とする。 - 特許庁
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