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At least a surface of Au film 13 and the proximity of an opening in a protective film 11 are covered with a protective film 14 made of organic material such as polyimideamide (PEAI) or polyimide (PIQ).例文帳に追加
ポリイミドアミド（ＰＥＡＩ）もしくはポリイミド（ＰＩＱ）などの有機系材料で構成される保護膜１４によって、少なくともＡｕ膜１３の表面および保護膜１１における開口部近傍を覆う。 - 特許庁
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