penning inとは 意味・読み方・使い方

A Penning vacuum gage 14 measures the air pressure in the taking-out box 12.例文帳に追加

ペニング真空計１４は、取出用ボックス１２内の気圧を測定する。 - 特許庁

Spattered particles emitted from the target are subjected to thermoionic dissociation in an ionizing space just above the target 2 and ionized by a Penning ionizing method.例文帳に追加

ターゲットから放出されたスパッタ粒子を、ターゲット２の直上のイオン化空間で熱電子解離し、ペニングイオン化法によりイオン化する。 - 特許庁

Dopant gas and Penning gas are ionized in a space isolated from a discharge part, using metastable helium obtained by direct-current glow discharge, and the ionization efficiency of the measuring components is enhanced using a plasma thereof to obtain an intensified ion current.例文帳に追加

本発明は、直流グロー放電により得た準安定状態のヘリウムを利用して、放電部から離隔した空間にドーパントガス、ペニングガスを電離させ、そのプラズマを利用して、測定成分のイオン化効率を向上させることにより、大きなイオン電流を得る。 - 特許庁