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phase coherent stateとは 意味・読み方・使い方
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In this case, a coherent state or an incoherent state is formed by setting such a film thickness of the dummy film 11 that reflected light reflected by the surface of the dummy film 11 and reflected light reflected by an interface between the dummy film 11 and the wafer W have the same phase or opposite phases.例文帳に追加
ここでダミー膜１１の膜厚をダミー膜１１の表面で反射された反射光と、ダミー膜１１とウエハＷとの界面で反射された反射光とが同位相になるかまたは逆位相になるように設定することにより、可干渉状態あるいは不干渉状態を形成しておく。 - 特許庁
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