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physical‐chemical treatmentの英語
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該当件数 : 1件
Thus, the liquid film is formed and frozen as pre-treatment of the physical/chemical washing, so that particles can be efficiently removed form the substrate surface.例文帳に追加
このように物理/化学洗浄の前処理として液膜形成・液膜の凍結が行われることにより、基板表面からパーティクルを効率良く除去することができる。 - 特許庁
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