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plasma triodeとは 意味・読み方・使い方
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In order to ignite a triode etching or coating device equipped with a pair of electrodes separated from each other and capacitively generating plasma, and a coil device combining inductive energy in the plasma, in the first place, plasma is capacitively generated between the electrodes, afterwards, inductive energy is combined.例文帳に追加
容量的にプラズマを発生させる互いに離れた１対の電極とプラズマ内に誘導性のエネルギを結合するコイル装置とを備えた三極管エッチングあるいはコーティング装置を点火するために、まず電極間でプラズマが容量的に発生され、その後さらに誘導エネルギが結合される。 - 特許庁
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