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roughing tankとは 意味・読み方・使い方
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Of the vacuum tanks 11 to 13, an exhaust of the vacuum tank 11 is switched from a roughing vacuum pump 40 to the main vacuum pump 71 after a pressure in the vacuum tank 11 is decreased to a value or less of an increase of 10% the maximum process pressure including the other vacuum tanks 12, 13.例文帳に追加
真空槽１１〜１３の内、真空槽１１の排気を、粗引きポンプ４０から主真空ポンプ７１への切り替えは、真空槽１１内の圧力が、他の真空槽１２、１３を含めた最大プロセス圧力の１０％増しの圧力以下まで低下した後に行う。 - 特許庁
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