stabilizing controllersとは 意味・読み方・使い方

To provide a silicon epitaxial wafer manufacturing device capable of manufacturing silicon epitaxial wafers which are products of high resistivity, stabilizing the resistivity of the wafers, and eliminating the necessity of substituting work of dopant gas bumps or mass flow controllers.例文帳に追加

抵抗率を安定させるとともに、ドーパントガス用ボンベやマスフローコントローラの交換作業を要しない高抵抗率品のシリコンエピタキシャルウェハ製造装置を提供する。 - 特許庁