supersonic plasma flowとは 意味・読み方・使い方

The supersonic gas stream 10 accelerated is converted into a plasma by a preliminary accelerating system 4 for plasma generation to generate an initial plasma stream having a flow velocity of heat velocity or near to the heat velocity.例文帳に追加

加速された超音速ガス流１０をプラズマ生成予備加速システム４でプラズマ化し、熱速度又は熱速度近傍の流速を有する初期プラズマ流を生成する。 - 特許庁

The Ti-Al-N film contains titanium, aluminum and nitrogen, and is deposited on a substrate in such a way that particulates composed of nitrogen, titanium and/or aluminum produced in plasma are jetted into a vacuum chamber 30 from a supersonic nozzle 34 in a state of being carried on the gas flow of an supersonic free jet, and are physically vapor-deposited on a substrate 33 arranged in the vacuum chamber 30.例文帳に追加

チタン、アルミニウムおよび窒素を含有して、基板に形成されたＴｉ−Ａｌ−Ｎ膜であって、プラズマ中で生成された窒素とチタンおよび／またはアルミニウムからなる微粒子を超音速ノズル３４から超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー３０中に噴出して、真空チャンバー３０中に配置した基板３３上に物理蒸着させて形成した膜とする。 - 特許庁