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trifluoridesとは 意味・読み方・使い方
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「trifluorides」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
When the plasma producing chamber of a high-frequency ion source is cleaned, at least one kind of cleaning gas among all the chlorofluoro-halocarbons, nitrogen trifluorides, hydrogen halides, and halogen trifluorides is introduced into the chamber.例文帳に追加
高周波イオン源のプラズマ生成室内をクリーニングするに際し、プラズマ生成室内に全ハロゲン化塩化フッ化炭素、三フッ化窒素、ハロゲン化水素及び三フッ化ハロゲンから選ばれる少なくとも１種のクリーニングガスを導入し、該クリーニングガスを励起して活性種を生成させる。 - 特許庁
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