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water interferometerとは 意味・読み方・使い方
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In addition, if the interferometer 10 is an oblique- incident type, the reflected light and the background light measured by the interferometer 10 and the side formed by the edge of the water 1 to be detected are set to be substantially parallel to each other when viewed from a direction perpendicular to the surface of the wafer 1.例文帳に追加
さらに，干渉計１０が斜入射干渉計の場合，干渉計１０により計測される前記反射光及び前記背景光と，検出対象となるウェハ１のエッジが形成する辺とが，ウェハ１の面に垂直な方向から見て略平行となるよう構成する。 - 特許庁
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