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wet lappingとは 意味・読み方・使い方
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The surface of a quartz wafer 2 is subjected to lapping machining until a prescribed thickness, etching liquid such as fluoric acid is used for wet etching, and a machining deterioration layer due to the lapping machining is removed and at the same time, is machined to a desired thickness in a quartz chip.例文帳に追加
水晶ウエハ２の表面を所定の厚さまでラッピング加工した後、弗酸等のエッチング液を用いてウェットエッチングし、ラッピング加工による加工変質層を除去すると同時に、所望の水晶チップの厚さに加工する。 - 特許庁
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