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堆積説の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
供給ガスとして金属カルボニル先駆体（５２）及びＣＯを利用する堆積プロセスの初期化方法及びシステムについて説明する。例文帳に追加
A method and a system for initiating a deposition process utilizing a metal carbonyl precursor (52) and CO as a delivery gas is described. - 特許庁
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