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変形台形曲線の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
ＣＶＤ装置のウエハを搬送する搬送ロボット５０を、搬送時の加速度αを零点０以外の一定加速度区間６３ｂが設定され、かつ、各変曲点ｔａが弯曲した変形台形曲線６３を用いて制御する。例文帳に追加
A wafer transfer robot 50 for transferring a wafer in a CVD system is controlled by a modified trapezoidal curve 63, which has sections 63b of constant acceleration other than zero-point 0 and each curved points ta. - 特許庁
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