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CVMを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
When the semiconductor substrate 2 is to be machined from a main-surface side, the machining by the plasma CVM method and the mechanical polishing using the grinding wheel 1 are combined, an interlayer insulating film and wiring that have different etching rates are machined uniformly.例文帳に追加
半導体基板2を主面側から加工する場合においては、プラズマCVM法による加工と砥石車1による機械的な研磨とを複合させて、エッチングレートの異なる層間絶縁膜と配線とを均一に加工する。 - 特許庁
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