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Merieを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
A dry etching system (MERIE system) allows dry etching to a chromic half-tone phase shift film.例文帳に追加
金属薄膜のドライエッチング加工において、エッチングガスとして、酸素含有ガスとハロゲン含有ガスとからなる反応性イオンエッチングガスにさらに還元性のガスを添加した混合ガスを用いる。 - 特許庁
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