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cotuを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The coating developing apparatus has a liquid treatment unit COTU including a liquid treatment part COT for treating a substrate by using a chemical liquid, a cooling treatment part CA provided corresponding to the liquid treatment part COT and cooling the substrate, and a heat treatment part HP provided corresponding to the cooling treatment part CA and heat-treating the substrate.例文帳に追加
薬液を用いて基板を液処理する液処理部ＣＯＴと、液処理部ＣＯＴに対応して設けられ、基板を冷却処理する冷却処理部ＣＡと、冷却処理部ＣＡに対応して設けられ、基板を加熱処理する加熱処理部ＨＰとを備えた液処理ユニットＣＯＴＵを有する。 - 特許庁
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