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gas phase chemical speciesの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The catalytic chemical vapor phase epitaxial growth device includes a raw material gas supply means, a heat catalyst body for decomposing a part of a raw material gas and generating active species and a stage for supporting a semiconductor substrate to be formed.例文帳に追加
原料ガス供給手段と、原料ガスの一部を分解して活性種を生成する熱触媒体と、成膜される半導体基板を支持するステージとを有する。 - 特許庁
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