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scannabilityを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Consequently, the lowering of the exposure accuracy of this exposure device 101 can be suppressed and the throughput of this device 101 can be improved, because the deterioration etc., of the scannability of stages 117 and 137 caused by a reduction in atmospheric pressure can be avoided.例文帳に追加
そのため、雰囲気減圧に伴うステージ１１７、１３７の走査性の悪化等を回避できるので、露光精度の低下を抑制でき、高スループット化を実現できる。 - 特許庁
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