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self-assembled filmsの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In a state wherein a gate insulating film 2 and films of a source electrode 3c and a drain electrode 3d are formed on a substrate 1, a first self-assembled monolayer (first SAM film 5) having a perfluoroalkyl group is formed on a surface of the substrate 1.例文帳に追加
基板１にゲート絶縁膜２およびソース電極３ｃ，ドレイン電極３ｄを製膜した状態で、基板１表面にパーフルオロアルキル基を有する第１の自己組織化単分子膜（第１ＳＡＭ膜５）を形成した。 - 特許庁
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