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speedlessを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
A polishing stop film 20 having polishing speedless than that of an interlayer insulation film 12 is formed between a semiconductor substrate (semiconductor wafer) 11 and the interlayer insulation film 12.例文帳に追加
半導体基板（半導体ウエハ）１１と層間絶縁膜１２との間に、層間絶縁膜１２よりも研磨速度が小さい研磨停止膜２０を形成する。 - 特許庁
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