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dry etching
ドライエッチング
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Weblio英和対訳辞書
Dry etching
ドライエッチング
ドライエッチング
(
英語
:dry etching)は、
反応性
の
気体
(エッチングガス)や
イオン
、
ラジカル
によって
材料
を
エッチング
する方法
である
。
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