Wiktionary英語版
出典：Wiktionary
TDMAGe
名詞
TDMAGe
- Tetrakis(dimethylamino)germanium, a metalorganic source for germanium nitride (GeN) in MOCVD of semiconductors. It grows GeN instead of Ge, and is used at either high temperatures (600-800 C) or with plasma because of its very low vapor pressure and higher decomposition temperature.
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Weblio英和・和英辞典に掲載されている「Wiktionary英語版」の記事は、WiktionaryのTDMAGe (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、Creative Commons Attribution-ShareAlike (CC-BY-SA)もしくはGNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。
