The peritoneal dialysis liquid reduces the adverse effect on the living body by the glucose which is the defect of the existing peritoneal dialysis liquids and is useful for supplying the L carnitine lacking in the dialysis patient into the living body by containing the L carnitine as a main osmotic agent in the peritoneal dialysis liquid. 腹膜透析液内の主浸透圧剤としてL-カルニチンを含有することで、既存の腹膜透析液の欠点であるブドウ糖による生体への悪影響を減少させ、なおかつ透析患者に不足しているL−カルニチンの生体内への供給にも役立つ腹膜透析液を提供する。 - 特許庁
To highly reliably evaluate the density and the origin of a defect in an insulation film or in a semiconductor film by surely securing an electrical contact for electric detection electronic spin resonance measurement and remarkably reducing noise caused by contact resistance or the like. 本発明は、電気検出電子スピン共鳴測定に対して、電気的接触の確実な確保が可能となり、接触抵抗等に由来するノイズを大幅に低減し、絶縁膜、もしくは、半導体膜中の欠陥の密度、起源の、信頼性の高い評価することを目的とする。 - 特許庁
Only a component which varies in cycles longer than the size of a circuit pattern and repetition cycles in a potential contrast image obtained with the reflected electrons is imaged through lenses 8, 12, and 13 and an image signal is compared with a previously set value to find whether there is a defect and measures its position. 反射電子により得られる電位コントラスト像のうち、回路パターンのサイズや繰り返し周期より長い周期で変化する成分のみを、レンズ8、12、13により結像し、画像信号をあらかじめ設定した値と比較することにより、欠陥の有無および位置を計測する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device having a super junction structure wherein a dislocation defect does not easily occur in a filled epitaxial layer of a second conductivity type for the purpose of further improving the quality of the region of the second conductivity type formed inside a trench. トレンチ内に形成する第2導電型の領域の更なる高品質化を目的に、前記第2導電型の充填エピタキシャル層に転位欠陥が発生しにくいスーパージャンクション構造を有する半導体素子の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a defect inspection method that can appropriately control a charge amount of a surface of a sample even when the irradiation current value for enlarging the throughput or the like is increased, obtains clear image data with small distortion, and can perform an inspection with high reliability. スループットを大きくする等のため照射電流値を増加する場合にも試料表面の帯電量を適切に制御することができ、歪の小さい鮮明な画像データが取得され、信頼性の高い検査を行うことができる欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for correcting a semiconductive belt which flattens a shape defect part more than a conventional correction method by heating process so as to perform correction with no practical problem and which can improve manufacturing yield more than the correction method by heating process. 従来の加熱処理による修正方法よりも形状的な欠陥部分を平坦化して、実使用上問題の無い状態に修正でき、加熱処理による修正方法よりも製造の歩留まりを向上することができる半導電性ベルトの修正方法を提供することにある。 - 特許庁
In the normal operation with an off state of the detection signals DFCT of a defect detecting circuit 220, a switch 240 is connected to a jitter detection circuit 210, and the jitter detection signals of the jitter detection circuit 210 are transmitted through the switch 240 to a microcomputer 300 as they are. ディフェクト検出回路220の検出信号DFCTがオフの通常動作では、スイッチ240がジッタ検出回路210側に接続されており、ジッタ検出回路210のジッタ量検出信号がそのままスイッチ240を介してマイコン300側に伝送される。 - 特許庁
When a laser beam is irradiated on the optical disk and data is reproduced, an irradiation light quantity detecting signal suited to light quantity of the laser beam irradiating the optical disk is output, and defect of the optical disk is detected based on this irradiation light quantity detecting signal. 本発明では、レーザビームを光ディスクに照射してデータを再生する際、光ディスクに照射されるレーザビームの光量に応じた照射光量検出信号を出力し、この照射光量検出信号に基づいて光ディスクの欠陥検出を行うこととする。 - 特許庁
To provide an image reading apparatus for easily realizing a secured cross point voltage to a prescribed voltage level or over and avoiding a defect of sampling of ringing noise by controlling the generated position of the ringing noise so as to arrange the ringing noise at a position with a timing margin. クロスポイントの電圧を所定の電圧レベル以上に確保することを容易に実現すると共にリンギングノイズの発生ヶ所をコントロールしてタイミング的に余裕度のある位置にリンギングノイズを配することでリンギングノイズをサンプリングしてしまう不具合を回避することができる画像読取装置を提供する。 - 特許庁
Although electrons cannot smoothly pass as a grain boundary and crystal defect exists in the channel region of the poly-crystal silicon film 3, by providing the single crystal region 102, the electrons mainly pass the single crystal region 102 and raise a field effect mobility. 多結晶シリコン膜3のチャネル領域には結晶粒界や結晶欠陥があるため電子はスムーズに通過できないが、単結晶領域102を設けることで、電子は主に単結晶領域102を通過するようになるため、電界効果移動度を高くすることができる。 - 特許庁
To provide a ceramic reduced in pore defect by thoroughly preventing the generation of micropore defects, and to provide a forming raw material and a ceramic powder for obtaining the ceramic reduced in pore defects, and a method of obtaining the ceramic reduced in pore defects. 微小気孔欠陥の発生を根本的に防止することによって、気孔欠陥を低減したセラミックスを提供するとともに、気孔欠陥を低減したセラミックスを得るための成形原料とセラミック粉末、および気孔欠陥を低減したセラミックスを得るための製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a concrete reinforcing member which combines metal reinforcing elements with each other firmly, is superior in dispersibility of metal reinforcing elements to concrete and mortal, and completely solves a problem of entraining air likely to be a fatal defect of concrete or mortal constructions. 金属補強要素同志を強固に結合するとともに、コンクリート、モルタルに対する金属補強要素の分散性に優れ、且つコンクリート、モルタル構造物の致命的欠陥となる可能性がある空気連行性の問題が完全に解決されたコンクリート補強材を提供すること。 - 特許庁
To provide a safety control system that, in a control device using plural arithmetic devices, always detects defect factors such as noise or failure during operation, has flexibility for noise, and can secure safety while suppressing deterioration of an operation rate. 複数の演算装置を用いた制御装置にあって、ノイズや故障等の不具合要因を稼動中に常時検出すると共に、ノイズに対しては柔軟性を持たせ、稼動率の低下を抑えつつ安全性を確保することができる安全制御システムを提供すること。 - 特許庁
To provide an austenitic stainless steel sheet for press forming with a fine-grained structure where season cracking as the defect of austenitic stainless steel is conquered by the refining effect of crystal grains, and the improvement of press formability is attained without depending on strict componential regulation and the addition of alloy elements. 厳格な成分調整及び合金元素の添加によらず、結晶粒の微細化効果によってオーステナイト系ステンレス鋼の欠点である時期割れを克服し、プレス成形性の向上を図った微細粒組織を有するプレス成形用オーステナイト系ステンレス鋼板を提供する - 特許庁
To provide interactive operability for preventing a fixing defect or unwanted print-out from occurring by erroneously placing the paper of a different size or paper class information when paper shortage occurs in a copy session under using a multi-manual inserting and feeding cassette. マルチ手差しおよび給紙カセットを使用中のコピーセッションで、用紙なしが発生した場合に、誤って別のサイズあるいは用紙種別情報の用紙を載置することによる定着不良や不要なプリント出力が発生しないような対話的な操作性を提供すること。 - 特許庁
The output signal levels of photodetecting elements corresponding to the respective optical filters are multiplied by individual gain coefficients to make level corrections so that the output signal levels obtained from photodetecting elements having no black defect have the same prescribed level is irrelevantly to the kinds of the optical filters. 各光フィルタに対応する受光素子の出力信号レベルに対して各別の利得係数を乗じることにより、黒欠陥のない受光素子から得られる出力信号のレベルが光フィルタの種類に拠らずに同一の規定レベルとなるようにレベル補正する。 - 特許庁
A maintenance information providing server 12 is connected to a network N, and provides maintenance information acquired by correlating information on a past defect generation spot of the semiconductor integrated circuit testing device with a diagnosis result of a self-diagnosis program function provided in the semiconductor integrated circuit testing device. メンテナンス情報提供サーバ12は、ネットワークNに接続され、半導体集積回路試験装置の過去の不良発生箇所に関する情報と、半導体集積回路試験装置に設けられた自己診断プログラム機能の診断結果とを対応付けたメンテナンス情報を提供する。 - 特許庁
An airfoil to be exposed in a predetermined fluid receives the fluid from an introduction hole 2a that is formed at a front edge 1a, and discharges the received fluid from a discharge hole 2b that is formed at a rear edge 1b to supply the fluid to a velocity defect region. 所定の流体中に晒される翼であって、前縁部1aに形成された導入孔2aから上記流体を取り込むと共に、取り込んだ上記流体を後縁部1bに形成された導出孔2bから噴出して速度欠損領域に供給する。 - 特許庁
The inspection device allows defective image during inspection to be displayed, by searching similar defects on images in case of a plurality of sheets of defective data, performing trend display of a search result, displaying a defective map by designating a sheet on the trend, and designating a defect on the defective map. 複数枚の欠陥データの場合には、画像上で類似の欠陥を検索、検索結果をトレンド表示すること、トレンド上の1枚を指定することでその欠陥マップを表示し、欠陥マップ上の欠陥を指定することで検査時の欠陥画像の表示を可能とする。 - 特許庁
To provide a nanoimprint pattern forming method capable of controlling the leak of a surplus resin without requiring a complicated control mechanism in a transfer device and forming a dummy groove in a mold which causes a molding defect by a residual resin, and also to provide a base material used in the method. 転写装置に複雑な制御機構を必要とせず、また、樹脂残留によりモールド欠陥を引き起こす原因となるダミー溝をモールドに形成せずに、余剰樹脂の漏出を制御することができるナノインプリントパターン形成方法およびそれに用いられる基材を提供する。 - 特許庁
To provide a gas shielded arc welding method, in which a sound welding bead is obtained without causing the defect of pores on the surface of a welding bead, even on condition that the welding speed is ≥80 cm/min in single electrode welding and the welding speed is ≥150 cm/min in two electrode welding. 単電極溶接で溶接速度80cm/分以上、2電極溶接で溶接速度150cm/分以上の条件においても、溶接ビード表面に気孔欠陥が発生せず、健全な溶接ビードを得ることができるガスシールドアーク溶接方法を提供する。 - 特許庁
An ECU controls operation of an EPS actuator to apply periodically instantaneous motor torque to a steering system in association with a changing direction of the assist force when an assist continuing control using the sensor signal (remaining sensor signal) which is output by a sensor element of which defect is not detected is executed. ECUは、故障が検出されていない方のセンサ素子が出力するセンサ信号(残存センサ信号)を用いたアシスト継続制御の実行時には、そのアシスト力の変化方向に関係して、周期的に瞬発的なモータトルクを操舵系に印加すべくEPSアクチュエータの作動を制御する。 - 特許庁
To create a high-definition tomographic image capable of narrowing an operating range of an apparatus, obtaining a wide range of projection data, and imaging a minute defect, and the like in piping even in a narrow piping perimeter when photographing field plant piping. 本発明の目的は、現地プラント配管を撮影する際に、配管周囲が狭隘な状況においても、装置の動作範囲を小さくしつつ、広範囲の投影データを取得し、配管内部の微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成することにある。 - 特許庁
To securely manufacture a laminated ceramic electronic component which is free of a decrease in coverage of an internal electrode, a short-circuit defect etc., and having high reliability by preventing an internal electrode pattern from being attacked by a solvent in ceramic slurry when a ceramic green sheet is formed by applying the ceramic slurry. セラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを形成する際に、内部電極パターンがセラミックスラリー中の溶剤によってアタックされることを防止して、内部電極のカバレッジの低下やショート不良などがなく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を確実に製造することを可能にする。 - 特許庁
In an electronic microscope 5 for observing the defects detected by an optical defect inspection apparatus or an optical visual inspection apparatus, an optical microscope 14 for redetecting defects is mounted thereupon and a distribution filter is inserted in its pupil surface, when the optical microscope 14 is used to observe dark field. 光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布フィルタを挿入する構成とする。 - 特許庁
To provide a stencil mask for ion implantation, having superior heat resistance or durability and improving the ion implantation accuracy by reducing the defect of a stencil mask for ion implantation, such as, membrane deflection due to the heating of an ion beam, and to provide a low-cost method for manufacturing the stencil mask for ion implantation. イオンビームの発熱に起因したメンブレンの撓みというイオン注入用ステンシルマスクの欠陥が低減され、優れた耐熱性や耐久性を有してイオン注入精度を向上するイオン注入用ステンシルマスクおよびその安価な製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a silicone composition that performs crosslinking by condensation, wherein the silicone composition enables rapid crosslinking and simultaneously does not have problems, for example, yellowing, surface stickiness, a slow vulcanization rate, or stability when stored, or a defect, such as incompatibility with an ordinary adhesion aid based on aminosilane. 迅速な架橋を可能にし、同時に例えば黄変、表面粘着性、緩徐な加硫速度、貯蔵の際の安定性の問題またはアミノシランを基礎とする通常の付着助剤との非相容性のような欠点を有しない、縮合により架橋するシリコーン組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition capable of improving hydrophilicity during alkali development while securing hydrophobicity in immersion exposure, suppressing a development defect of a non-exposure part, and providing a resist coating film excelling in a pattern shape after development. 液浸露光時における疎水性を確保しつつアルカリ現像時における親水性を向上させることができ、未露光部の現像欠陥を抑制し得ることに加えて、現像後のパターン形状に優れるレジスト塗膜を与えることが可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device, having a structure in which a multilayer wiring layer is further formed on a peripheral circuit formed on a semiconductor substrate, such that a defect of the peripheral circuit is analyzed without changing characteristics of elements constituting the peripheral circuit. 半導体基板上に形成された周辺回路上にさらに多層配線層が形成された構造の半導体装置において、周辺回路を構成する素子の特性を変化させずに周辺回路の不良解析を行うことができる半導体装置を提供する。 - 特許庁
The substrate for surface-enhanced Raman scattering studies comprises a semiconductor surface with whiskers, coated with metal selected from the group consisting of silver, gold, platinum, copper and/or alloys thereof, where the semiconductor is a gallium-containing nitride, and essentially each whisker contains a linear defect inside. 基板は、銀、金、白金、銅及び/又はそれらの合金から成る群から選択された金属により被覆されている、ウィスカーを含む半導体表面を含んでおり、半導体はガリウム含有窒化物であり、本質的に各ウィスカーは内部に線状欠陥を含んでいる。 - 特許庁
To provide a teacher data superior in the repeatability and the objectivity, and alleviate a load of an operator for creating the teacher data, concerning a method for creating the teacher data for automatically classifying defects in a substrate, a defect classification method using it, and an apparatus. 基板の欠陥を自動的に分類するための教師データを作成する方法およびこれを用いた欠陥分類方法ならびに装置において、再現性、客観性に優れた教師データを提供するとともに、該教師データの作成におけるオペレータの負荷を軽減する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device in which a defect of a barrier metal film having a multilayer wiring structure is interpolated with a diffused barrier film by self-formation reaction between Mn of a CuMn layer and an interlayer insulating film, the specific resistance of a Cu layer on the CuMn layer being reduced. 多層配線構造のバリアメタル膜の欠陥を、CuMn層のMnと層間絶縁膜との自己形成反応による拡散バリア膜で補間する半導体装置の製造方法において、CuMn層上のCu層の比抵抗を低減する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
When the silicon wafer 1 is heat treated at 1150°C, implanted oxygen ions and defects generated by ion implantations are allowed to grow as nuclei and a fine defect layer 5 of 1-2 μm thickness which includes growing deposited nuclei 4 is formed on the lower area of the epitaxial layer 2 as a gettering site. 次に、1150℃で熱処理することにより、注入された酸素イオン及びイオン注入により生じた欠陥を核として成長させ、エピタキシャル層2の下部領域に、ゲッタリングサイトとなる成長した析出核4を含んだ厚さ1〜2μmの微小欠陥層5を形成する。 - 特許庁
When a point defect is found by array inspection, a laser cut section 61 is set up in the bridge 66 between a first sub-pixel pattern 6A-1 of a small right triangular one positioned at a corner of a pixel electrode 6, and a second sub-pixel pattern 6A-2 of a large area. アレイ検査により点欠陥が発見された際には、画素電極6の一隅に位置する小さな直角三角形状の第1のサブピクセルパターン6A-1と、大面積の第2のサブピクセルパターン6A-2との間にて、ブリッジ部66にレーザーカット部61が設けられる。 - 特許庁
The defect inspection apparatus is provided with a path roll, an irradiation device irradiating the magnetic tape traveling on the path roll with parallel light, a ceramic screen projecting the light reflected from the magnetic tape, and a photodetector capturing the image formed on the ceramic screen as a bright and dark signal. パスロールと、該パスロール上を走行する磁気テープに平行光を照射する照射装置と、該磁気テープから反射した光を投影させるセラミックスクリーンと、該セラミックスクリーン上に結像された像を明暗信号として取り込む受光装置と、を備えたことを特徴としている。 - 特許庁
To provide a concrete material, a concrete structure and its manufacturing method which inhibit or prevent a crack caused by dry shrinkage which makes an initial defect, particularly, in a slab and a plane member constituting a structure such as a wall or the like whose crack by the dry shrinkage becomes apparent. 特に乾燥収縮によるひび割れが顕著となるスラブや壁等の構造物を構成する面部材において、初期欠陥となる乾燥収縮に起因するひび割れを抑制または防止することができるコンクリート素材とコンクリート構造物及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a coating defect correcting apparatus, in which the correction of coating ununiformity occurring in the continuous coating of a flexible belt like body with a coating liquid with a prescribed thickness by a coating utensil is surely and quickly performed without a user's touching at the flexible belt like body directly. 塗布工具により可撓性帯状体に塗布液を所定の厚さに連続的に塗布する際に発生する塗布むらの修正を作業者が可撓性帯状体に直接に触れることなく確実かつ迅速に行うことができる塗布不良修正装置を提供する。 - 特許庁
To provide a laminated sheet not generating appearance defect such as whitening in the highly stretched part of a molded article in a case performing molding such that the laminated sheet is thermally molded by vacuum molding or the like and subsequently stretched at room temp. by stamping molding to be bonded to aggregate for a molded article. 真空成形等で加熱成形した後にスタンピング成形等で常温で延伸しながら成形品用骨材と接着するという成形を行った場合、成形品の高延伸部での白化等の外観不良が発生しない積層シートを提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide a chip component mounting method and a chip component mounting device that mount a chip component at an accurate position on a substrate even if the substrate has an inclination in thickness to have a defect in parallelism when mounting the chip component with pressure with an anisotropic conductive film interposed. 異方性導電膜を介してチップ部品を圧着して実装する際に、基板厚みに傾斜が発生して平行度が不良な状態の基板であっても、基板上の正確な位置にチップ部品を実装可能とするチップ部品実装方法およびチップ部品実装装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an optical crystal thin film by which a dense and homogeneous optical crystal thin film having little defect or impurities but preferable crystal properties and applicable for an optical element such as an optical modulation device can be manufactured at comparatively low temperature, and to provide a light modulating element. 光変調素子等の光学素子に適用可能で、欠陥、不純物が少なく、緻密且つ均質で結晶性の良好な光学結晶薄膜を比較的低温で製造することができる光学結晶薄膜の製造方法及び光変調素子を提供する。 - 特許庁
To provide: an imaging device that can accurately detect a defect even if dark current noise occurs when performing noise reduction, and can prevent as much as possible reduction of an imaging dynamic range caused by increase of dark current noise; and a noise elimination method; and a noise elimination program using the imaging device. ノイズリダクションを行う際、暗電流ノイズが発生しても精度の良い欠陥検出を行うこと、また暗電流ノイズの増加による撮像ダイナミックレンジの低下をできるだけ防ぐことが可能な撮像装置、該撮像装置によるノイズ除去方法およびノイズ除去プログラムを提供すること。 - 特許庁
To provide a scanning optical device in which a defect such as a noise is not caused and effective cleaning is performed when the surface of a light transmissive member furnished on an open part through which a light beam passes is cleaned with an elastic cleaning member, and a high quality image can be obtained. 光ビームが通過する開口部に設けられた光透過性部材表面を弾性清掃部材で清掃するに際し、騒音などの不具合を発生させることなく、効果的な清掃を実施することができ、高品質の画像を得ることが可能な走査光学装置を提供する。 - 特許庁
To provide a highly-reliable insulation displacement type semiconductor device which is easily assembled, which is priced moderately, and which hardly causes defect resulting from stress, by suppressing parts count as much as possible while keeping the load of the insulation displacement connection to a chip electrode of each semiconductor chip uniform. 本発明は、各半導体チップのチップ電極に圧接する荷重を均一に維持しつつ、部品点数を極力抑えることにより、組み立てやすく、安価で、しかも応力ストレスに起因する不具合の発生しにくい信頼性の高い圧接型半導体装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
For a plurality of places which are determined that it cannot be confirmed whether or not they are defects including a common unconfirmed element, a defect indication screen output part 14 associates the information showing each of the plurality of places with the information showing the common unconfirmed element to display it on a display 20. 欠陥指摘画面出力部14は,共通の未確定要素を含む,複数の欠陥であるか否かを確定できないと判定された箇所について,それら複数の箇所のそれぞれを示す情報と,共通の未確定要素を示す情報とを対応付けて,ディスプレイ20に表示させる。 - 特許庁
To provide an image forming method by which an image defect such as toner scattering at a trailing edge is completely prevented even when processing speed is high, the speed of an electrophotographic process is made very high and also very excellent image quality is obtained. プロセス速度が大きい場合であってもトナー後端飛び散り等の画像欠陥の発生が十分に防止されており、電子写真プロセスを十分に高速化するとともに十分に良好な画像品質を得ることを可能とする画像形成方法を提供すること。 - 特許庁
The stored position information on the defect is read out by a controller of each process through a network etc., to determine a direction of sticking of a dicing tape on the semiconductor wafer and to determine a direction of peeling of the protective tape stuck on a surface of the semiconductor wafer. 当該記憶した欠陥の位置情報を各工程のコントローラがネットワークなどを介して読み出し、その位置情報を基づいて、半導体ウエハへのダイシングテープの貼付け方向を決定したり、または、半導体ウエハの表面に貼り付けられている保護テープの剥離方向を決定したりする。 - 特許庁
To provide an active matrix type display device and, permitting to easily discriminate a specific bus line when inspecting bus lines and restoring a defect, and a manufacturing method therefor, relating to an active matrix type display device having a switching element at each pixel and the manufacturing method therefor. 本発明は、各画素にスイッチング素子を有するアクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法に関し、バスラインの検査や欠陥修復を行う際に、容易に特定のバスラインを識別することのできるアクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
An evaluation function including the defect ratio and the covering rate as independent variables is set as an evaluation amount for quality decision, and an evaluation function value is set to be equal to a predetermined constant value or a designation value at the time of the evaluation to calculate an evaluation reference line on the state plane. 品質判定のための評価量として、不良比率及び網羅率を独立変数として含む評価関数を設定した上で、評価関数値を予め決められた一定値又は評価時の指定値に等しいとおいて、状態平面上での評価基準線を算出する。 - 特許庁
A suction instrument 1 is set on a surface part of the crack K of the concrete structure 1, and while a fluid in the crack K is forcibly sucked by a vacuum generation device 3, the change of the suction pressure is measured by a pressure gage, to thereby inspect a defect of the concrete structure 1. コンクリート構造物1のクラックKの表面部分に吸引器具1をセットして、真空発生装置3によりクラックK内の流体を強制的に吸引しながらその吸引圧の変化を圧力計により測定して、上記コンクリート構造物1の欠陥を検知する。 - 特許庁
In the stage wherein the wiring is formed on the substrate, wiring is applied with an electrical signal to go into a predetermined potential state; the secondary electron emitted by irradiating the wiring in the potential state with the electron beam is detected; and the defect of the wiring is detected, based on the signal intensity of the secondary electron. 基板に配線が形成された段階において、この配線に電気信号を印加して所定の電位状態とし、この電位状態の配線に電子線を照射して放出される二次電子を検出し、この二次電子の信号強度に基づいて配線の欠陥検出を行う。 - 特許庁