「MAGNETRON」を含む例文一覧(1445)
＜前へ 1 2 .... 5 6 7 8 9 10 11 12 13 .... 28 29 次へ＞- To provide a capacitor which can effectively shield noise generated from a magnetron.
マグネトロンから発生するノイズを効果的に遮蔽し得るキャパシタを提供する。 - 特許庁 - In addition, multicomponent films are coated on a substrate by way of magnetron co-sputtering.
そしてマグネトロン同時スパッタリングによって複合膜を基板上に成膜する。 - 特許庁 - To provide a magnetron sputter reactor for sputter coating of a deep hole and a method.
マグネトロンスパッタ反応器で、深いホールのスパッタコーティングを行う装置と方法。 - 特許庁 - To provide a high quality magnetron wherein a performance of a hard soldering part is improved.
ろう付け部の性能を向上させた品質の良いマグネトロンを提供する。 - 特許庁 - A rectangular magnetron circuit 23 is arranged on the undersurface of a rectangular target 22.
矩形のターゲット２２の下面には矩形タイプのマグネトロン回路２３を配置する。 - 特許庁 - When plural magnetron evaporation sources 3 are arranged around a substrate 2 in a magnetron sputtering apparatus and metal atoms or ions evaporated from the magnetron evaporation sources 3 are deposited on the substrate 2 to form a thin film on the substrate 2, auxiliary magnetic poles 9 having polarities in inverse relation to those of the outer magnetic poles 4 of the magnetron evaporation sources 3 are disposed at the intermediate position between the adjacent magnetron evaporation sources 3.
基板２の外周に複数のマグネトロン蒸発源３が設けられ、マグネトロン蒸発源３より蒸発した金属原子又はイオンを、基板２に付着させて基板２に薄膜を形成するようにしたマグネトロンスパッタ装置において、隣合うマグネトロン蒸発源３の中間位置に、マグネトロン蒸発源３の外側磁極４の極性と相異なる極性を持った補助磁極９が配置されている。 - 特許庁 - MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, FILM DEPOSITION METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT
マグネトロンスパッタリング装置、成膜方法及び有機電界発光素子の製造方法 - 特許庁 - HIGH VOLTAGE FEEDTHROUGH CAPACITOR, METHOD OF MANUFACTURING SAME, AND MAGNETRON
高電圧貫通型コンデンサ、高電圧貫通型コンデンサの製造方法、及び、マグネトロン - 特許庁 - To provide a magnet set which can easily change the configuration of a cathode magnet in a magnetron sputtering method.
マグネトロンスパッタリング法において、カソードマグネットの構成の変更を容易にする。 - 特許庁 - To provide a carousel system magnetron cathode capable of reducing target contamination and a sputter device.
ターゲット汚染を低減する、カルーセル式マグネトロンカソード及びスパッタ装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a magnetron structure capable of thinning plate thickness of an anode cylinder.
陽極円筒の板厚を薄くすることが可能なマグネトロン構造を提供する。 - 特許庁 - A Ni film 2 is formed on an insulating substrate 1 by a DC magnetron sputter method.
絶縁性基板１上に、ＤＣマグネトロンスパッタ法でＮｉ膜２を形成する。 - 特許庁 - METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND Ti-W MATERIAL FOR MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM
半導体素子の製造方法およびマグネトロンスパッタリング装置用Ｔｉ−Ｗ材 - 特許庁 - Harmonic components are contained in high frequency electromagnetic waves generated by a magnetron 2.
マグネトロン２より発生する高周波電磁波には高調波成分も含まれる。 - 特許庁 - To provide a magnetron of good quality with its brazed part equipped with an enhanced performance.
ろう付け部の性能をより向上させた品質の良いマグネトロンを提供する。 - 特許庁 - ROTATION STABILIZING MECHANISM FOR ROTARY BODY, METHOD OF STABILIZING ROTATION AND MAGNETRON SPUTTER DEVICE
回転体の回転安定化機構、回転安定化方法、およびマグネトロンスパッタ装置 - 特許庁 - A ceramics metallized component and a magnetron each produced by the production method are disclosed.
また、該製造方法により製造されたセラミックスメタライズ部品及びマグネトロンとする。 - 特許庁 - In this magnetron-driving power source, a temperature change of the magnetron 7 is detected by a temperature detection part 20, and is fed back to a change width of an ON time of a semiconductor switch element 3.
マグネトロン７の温度変化を温度検出部２０により検出し、これを半導体スイッチ素子３のオン時間の変化幅にフィードバックするようにしたものである。 - 特許庁 - To provide a magnetron with a structure capable of maintaining a stable oscillation characteristic to the temperature change of the magnetron without providing a large-scale heat dissipation structure.
大掛かりな放熱構造を設けることなく、マグネトロンの温度変化に対しても、安定した発振特性を維持することができる構造のマグネトロンを提供する。 - 特許庁 - To provide a magnetron by which a period of time until spoke formation is shortened although an extra manufacturing process is not required, and provide a radar device using the magnetron.
余分な製造工程が不要でありながら、スポーク形成までの時間を短縮することができるマグネトロン、および当該マグネトロンを用いたレーダ装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a control method for reducing the distortion of an input current to stabilize this input current during oscillation of a magnetron in the high-frequency heating power supply for driving the magnetron.
マグネトロンを駆動する高周波加熱電源装置において、マグネトロン発振時の入力電流の歪を少なくし、安定させる制御方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a magnetron sputtering system and a method of thin film deposition by magnetron sputtering by which film deposition rate can be increased and a thin film having excellent characteristics can be deposited.
成膜速度が大きく、また、特性に優れた薄膜を形成することのできるマグネトロンスパッタリング装置およびマグネトロンスパッタリングによる薄膜形成方法を提供する。 - 特許庁 - The microwave apparatus of moving type which comprises the magnetron is provided, and a means is provided by which a filament of the magnetron is always electrified and heated at all times, when the microwave device is moved.
マグネトロンを搭載し、かつ移動する形式のマイクロ波装置であって、マイクロ波装置の移動時、マグネトロンのフィラメントを常時通電加熱する手段を搭載した。 - 特許庁 - The cooker 1 includes a magnetron 40 for heating a cooking ingredient F in a heating chamber 20 at high frequency and a high frequency drive power supply 47 for oscillating the magnetron 40.
加熱調理器１は、加熱室２０の中の食材Ｆを高周波で加熱するためのマグネトロン４０と、マグネトロン４０を発振させる高周波駆動電源４７を有する。 - 特許庁 - To provide a magnetron device, having the function of changing cook ing conditions without using a heater and a power source for the heater in a microwave oven independently from the magnetron device.
本発明は、マグネトロン装置とは別に、電子レンジにヒーターおよびヒーター用電源を使用することなく、調理具合を変更する機能をマグネトロン装置に付加すること。 - 特許庁 - The microcomputer continuously operates a magnetron 2 until the humidity of the chamber 1 is measured even in the case where the magnetron 2 should be intermittently operated.
そして、マイクロコンピュータは、マグネトロン２を断続的に運転させるべき場合でも、加熱開始時の加熱室１の湿度を測定するまでは、マグネトロン２を連続的に運転させる。 - 特許庁 - The plasma treatment by the magnetron sputtering electrode 25 is executed at a speed corresponding to the thin film deposition rates of the magnetron sputtering electrodes 31 to 33 to deposit the thin film at a high speed.
マグネトロンスパッタ電極３１〜３３の薄膜形成速度に見合う速度でマグネトロンスパッタ電極２５によるプラズマ処理を行って薄膜を高速に形成する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a magnetron with a durable input part hardly affecting oscillation characteristics of the magnetron even if vibration and impact are applied to it.
マグネトロンに振動や衝撃が印加されても、マグネトロンの発振特性に影響を与え難い耐久性のある入力部を有するマグネトロンの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a remaining service life detection apparatus for detecting remaining service life for magnetron, thereby obtaining its time for replacement and making preparation for an exchange operation for the magnetron.
マグネトロンの余寿命が検出でき、マグネトロンの交換時期やその交換作業の準備などの便宜を計ることができるマグネトロンの余寿命検出装置を提案すること。 - 特許庁 - This method for forming the thin film of silicon nitride on the substrate comprises: using dual magnetron sputtering (DMS) technique; and applying sinusoidal voltage with a frequency of 25 kHz or less to the magnetron cathodes.
デュアル・マグネトロンスパッタリング（ＤＭＳ）を用い、そのマグネトロンカソードに周波数２５ｋＨｚ以下の正弦波電圧を印加して、基材上に窒化シリコンの薄膜を成膜する。 - 特許庁 - The auxiliary magnetron 64 is larger, weak, and more balanced and used for cleaning the center of the target and guiding sputter ions from the source magnetron in sputter deposition.
該補助マグネトロン６４は、より大きく、弱く、かつより平衡しており、該ターゲットの中心を洗浄し、スパッタ堆積において、スパッタイオンを該ソースマグネトロンからガイドするのに使用される。 - 特許庁 - To provide a magnetron sputtering apparatus having a function of monitoring nodules formed during the sputtering, a magnetron sputtering apparatus having a nodule removing function, and a method thereof.
スパッタ中に形成されるノジュールをモニタする機能を具えたマグネトロンスパッタリング装置と、されに、ノジュール除去機能を具えたマグネトロンスパッタリング装置とその方法を提供すること。 - 特許庁 - A magnetron cathode structure 10 uses the magnetron endhat assembly, and the endhats 1 and 4, and the lead rods 2 and 3 are joined closely by melting the blazing material at joints.
マグネトロン陰極構体１０は、このマグネトロンエンドハット組立品を使用し、接合部分のロウ材を溶融し、エンドハット１，４とリード棒２，３をさらに密着接合した。 - 特許庁 - Accordingly, a highly reliable step-up transformer for driving a magnetron which prevents the magnetron from generating moding at the range from a low power output to a high power output can be provided.
したがって、低出力から高出力に至るまでマグネトロンがモーディングを起こさない信頼性の高いマグネトロン駆動用昇圧トランス装置を提供することができる。 - 特許庁 - To provide an integrated anode and activated reactive gas source for use in a magnetron sputtering device and a magnetron sputtering device incorporating the same.
本発明は、マグネトロン・スパッタリング・デバイスで使用するための統合したアノードおよび活性化反応性ガス源、ならびにそれを組み込んだマグネトロン・スパッタリング・デバイスに関する。 - 特許庁 - To protect a magnetron which happens to have temporary temperature rise before the magnetron reaches overheated temperature, in a microwave heating device having a plurality of magnetrons.
複数のマグネトロンを備えたマイクロ波加熱装置において、マグネトロンが過加熱温度へ達するよりも前に一時的に温度上昇が起こったマグネトロンを保護する。 - 特許庁 - To provide a microwave generation device preventing a high voltage diode or a magnetron from thermal breakdown by detecting non-load operation of the magnetron by a current flowing through the high voltage diode, and reducing power, or stopping operation.
マグネトロンの無負荷運転を高圧ダイオードに流れる電流で検出し、パワーダウンあるいは運転停止を行ない高圧ダイオードやマグネトロンが温度破壊を防止する。 - 特許庁 - In this magnetron cathode part provided with the magnetron cathode body and the cathode lead to support the magnetron cathode body, a projecting part is formed in the magnetron cathode body, and the tip part of the cathode lead is butted against the projecting part to apply resistance welding to this butted face.
マグネトロン用陰極本体と、このマグネトロン用陰極本体を支持する陰極リードとを備えるマグネトロン用陰極部において、前記マグネトロン用陰極本体に凸部が形成されており、その凸部に前記陰極リードの先端部分が突き合わされ、この突き合わされた面で抵抗溶接されていることを特徴とするマグネトロン用陰極部。 - 特許庁 - To provide a magnetron capable of preventing deterioration of vacuum caused by bonding failure between members; to provide the magnetron where assembly between the members is easy; to provide a joining method between the members of the magnetron capable of improving joining properties and assembling properties.
本発明は、部材間の接合不良による真空漏れを防止できるマグネトロンを提供し、また、部材間の組み立てが簡単なマグネトロンを提供し、また、接合性と組み立て性を向上させることができるマグネトロンの部材間での接合方法を提供する。 - 特許庁 - A high-frequency magnetron spattering method can be adopted as the method for producing the thin film.
薄膜の製造方法としては、高周波マグネトロンスパッタリング法を採用することができる。 - 特許庁 - To protect an inverter circuit from an abnormal operation caused by discharging inside a magnetron tube.
マグネトロンの管内放電によって生じる異常動作からインバータ回路を保護すること。 - 特許庁 - To provide a magnetron which has a low manufacturing cost and excellent manufacturability, and is not adversely affected by characteristics.
コストが低くて製造性が良く、特性の悪影響もないマグネトロンを提供する。 - 特許庁 - To provide a magnetron for a microwave oven with a good quality and provide its manufacturing method.
良好な品質の電子レンジ用マグネトロンおよびその製造方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a magnetron with its magnetic circuit not becoming too large.
磁気回路が必要以上に大きくならないマグネトロンを提供することを目的とする。 - 特許庁 - To widen an actuating time of an electric current flowing in a magnetron, and make actuation efficiently and stably.
マグネトロンに流れる電流の動作時間を広げ、効率よく安定して動作させる。 - 特許庁 - Consequently, a small sized magnetron device can be provided with keeping same oscillating frequency.
その結果、発振周波数がこれまでと同じで小型のマグネトロン装置を得ることができる。 - 特許庁 - Microwaves oscillated by a magnetron are fed to a heating chamber via the opening 16.
マグネトロンが発振したマイクロ波は、給電開口１６を介して、加熱室に供給される。 - 特許庁 - MANUFACTURING METHOD FOR MAGNETOOPTIC DISK BY INDUCTIVELY COUPLED RF PLASMA SUPPORTED MAGNETRON SPUTTERING METHOD
誘導結合ＲＦプラズマ支援マグネトロンスパッタ法における光磁気ディスクの製造方法 - 特許庁 - To provide a cathode used for a magnetron which has solved a problem for obtaining a large power.
マグネトロンに使用される陰極体では、大電力化するためには不都合な点が多い。 - 特許庁 - To protect an inverter circuit from an abnormal operation caused by moding oscillation of a magnetron.
マグネトロンのモーディング発振によって生じる異常動作からインバータ回路を保護すること。 - 特許庁
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