「Relative Position」を含む例文一覧(5597)
＜前へ 1 2 .... 92 93 94 95 96 97 98 99 100 .... 111 112 次へ＞- To provide an image processing unit that extracts character data from a read image by character recognition and prints out comments and attached information retrieved by the character data together with an original image without unbalancing the relative position relation of the original image even when the information amount is large.
読み取った画像を文字認識によって文字データを抽出し、この文字データによって検索した注釈や付加情報を、その情報量が多い場合でも原画像の相対的な位置関係を崩さずに、原画像と共に印刷出力する画像処理装置を提供する。 - 特許庁 - Successively, at a step 322, on the basis of the wafer grid derived from the process and the correction map stored by in accordance with the degree of the wafer grid derived from the process, the superposition exposure is performed by correcting a relative position in a two-dimensional plane of an image of a pattern on reticle, and a wafer.
そして、ステップ３２２では、プロセスに起因のウエハグリッドと、そのプロセスに起因するウエハグリッドの次数と対応付けされて記憶され補正マップとに基づいて、レチクル上のパターンの像とウエハとの２次元平面内の相対位置を補正しつつ、重ね合わせ露光を行う。 - 特許庁 - Specifically, PTSs determined correspondingly to the travelling direction and the position to be printed are stored in a memory, when the travelling direction is detected, the corresponding PTS is read out, and the PTS is supplied to the print head 2 at a timing that reduces the relative misregistration in printing due to the travelling speed differences.
具体的には、走行方向及び印字予定位置に応じて定めたＰＴＳをメモリに保持しておき、走行方向を検知したときに該当するＰＴＳを読み出し、これを走行速度差に起因する相対印字位置ずれを低減させるタイミングで印字ヘッド２に供給する。 - 特許庁 - To assemble a laser module having structure in which two cylindrical members each of which holds a laser light source and a condensing optical system which condenses a laser beam made incident on an optical fiber are fixed by welding, by optimizing a relative position between the laser light source and the condensing optical system.
レーザ光源と、光ファイバに入射させるレーザビームを集光する集光光学系を各々保持した２つの筒状部材を互いに溶接固定した構造を有するレーザモジュールを、レーザ光源と集光光学系との相対位置を最適にして組み立てる。 - 特許庁 - A track groove 32 in a range of an outer joint member 33 contacted by a ball 37 when an operation angle is 0 degree includes an offset groove 40 having a curvature and being offset at a position where a center of curvature is separated from a joint center axis line X in an opposite radial direction relative to the track groove 32.
作動角が０°の状態で、外側継手部材３３におけるボール３７が接触する範囲のトラック溝３２は、曲率を持ち、曲率中心が継手中心軸線Ｘからトラック溝３２に対して半径方向反対側に離間した位置にオフセットされたオフセット溝４０を有する。 - 特許庁 - To provide a sliding support member for a boom which is easily mountable on an outer boom member and allowing position adjustment of an inner boom member relative to the outer boom member, a boom for construction machinery including the same, and a method for assembling the boom for the construction machinery.
外側ブーム材への取付が容易であり、かつ、当該外側ブーム材に対する内側ブーム材の相対位置の調整を行うことが可能なブーム用スライド支持部材、及びこれを備えた建設機械のブーム、並びに建設機械のブームの組立方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an imaging display device which can change the relative position of an imaging part and a display part, and also control the imaging part and display part while considering whether an image is picked up in backlight environment and whether a display screen is observed.
撮像部と表示部の相対位置を変更可能に構成し、逆光環境下あるいは逆光以外の環境下のいずれかで撮像が行われたり表示画面を観察するかを考慮して撮像部と表示部の制御を行う撮像表示装置を提供する。 - 特許庁 - The electron beam device comprising a plurality of electron guns EG1, EG2, ..., having the anode 10 and the cathode 11, and electron optics system OS1, OS2, ..., mounted on respective electron guns has an adjusting mechanism for shifting the relative position of the cathode 10 against the anode 11.
カソード１及びアノード１０、１１を有する複数の電子銃ＥＧ１、ＥＧ２、・・と、各電子銃に設けられた電子光学系ＯＳ１、ＯＳ２、・・とを備えた電子線装置は、各電子銃においてカソード１とアノード１０、１１との間の相対位置を変化させるための調整機構を具備する。 - 特許庁 - To realize a regional information providing system which automatically detects a region to which a user belongs for the user of a portable terminal, who requests service information, attaches relative position information between the user and a service providing place and can provide the user with the latest information of the region.
サービス情報を要求する携帯端末の利用者に対し、利用者が属する地域を自動的に検出し、利用者とそのサービス提供拠点の相対位置情報を付して、この地域の最新情報を利用者に提供し得る地域情報提供システムの実現を目的とする。 - 特許庁 - To vary a relative position between a projection part supported by the thumb and the forefinger of a hand grasping a grip part and a switch operated by the fingers of the grasping hand and to suitably execute a switch operation in accordance with the size of the hand and the length of the finger.
グリップ部を把持する手の親指と人指し指との間で支持される突部と、その把持した手の指で操作されるスイッチとの相対的な位置を可変できるようにし、手の大きさや指の長さに応じて好適にスイッチ操作を行えるようにしたレンズ駆動装置を提供する。 - 特許庁 - Two reference points of positioning are set on a metal package 1 for each group, relative position between chips in the group and inclination of each chip at a predetermined heating temperature are corrected with reference to a line connecting two reference points of positioning and then the chips are soldered to the metal package 1.
各グループごとに２点の位置決め基準点を金属パッケージ１に設定し、所定加熱温度におけるグループ内のチップ間の相対的位置と各チップの傾きを、２点の位置決め基準点を結ぶ直線を基準に補正して金属パッケージ１にロウ付け接合する。 - 特許庁 - To provide a robot control method and a robot controller capable of reducing arithmetic operation quantity independent of a moving passage of a work in arithmetically operating a present position of the work with the movement of a conveyer and describing the operation and intuitively teaching relative to the work.
コンベヤの移動に伴うワークの現在位置の演算処理に際し、ワークの移動経路によらず演算量の低減を図ることを可能にすると共に、ワークに対する動作の記述及び直感的な教示を可能にするロボット制御方法及びロボットコントローラを提供する。 - 特許庁 - The volume occupied by the whole mechanism can be reduced because of a structure in which the rotation locus of a worm gear 13 of the motor unit 10 turning relative to a base shaft 5 projects only at a meshing position with the worm gear 13 of the motor unit 10 by using a flexible belt rack 20.
可撓性のあるベルトラック２０を用いることで、基本軸５に対し回動するモータユニット１０のウォームギヤ１３の回転軌跡が、モータユニット１０のウォームギヤ１３との噛み合い位置のみを張り出した構造であるから、機構全体の占める容積を小さくすることができる。 - 特許庁 - To provide a structure for setting a connecting device which is unlikely to disengage components of the connecting device set between two frames, even if relative position of the two frames set preliminarily is shifted by a rapid load or the like, and firmly maintains the function as the connecting device.
急激な負荷等によって予め設定される２つのフレームの相対位置がずれてしまうような場合であっても、これらフレーム間に設置される連結装置の構成各部の噛み合いを外れ難いようにし、連結装置としての機能を強固に維持できるようにする。 - 特許庁 - To provide a method for controlling receiving dies in manufacturing glass gobs which is capable of making high precision and high efficiency production from the beginning of operation by stably assuring the relative positions of the position of a front end orifice section of an outflow pipe in heating and cooling and areas of the receiving dies.
加熱、冷却時における流出パイプの先端オリフィス部の位置と、受け型の部位との相対的位置を、常に所定量に安定確保させることにより、稼働初期から高精度で、高効率の生産ができるガラスゴブ製造における受け型制御方法を提供する。 - 特許庁 - The clutch C comprises a damper spring 3 for transmitting to the clutch outer 2 torque to be input to a driven gear 1, and a thrust washer 8 arranged between the driven gear 1 and the clutch outer 2 in the axial direction for restricting an axial position change of the clutch outer 2 relative to the driven gear 1.
クラッチＣは、被動ギヤ１に入力されるトルクをクラッチアウタ２に伝達するダンパスプリング３と、軸方向で被動ギヤ１とクラッチアウタ２との間に配置されて被動ギヤ１に対するクラッチアウタ２の軸方向での位置の変動を規制するスラストワッシャ８とを備える。 - 特許庁 - To accurately detect an actual relative positional relation between own vehicle and another vehicle by receiving positional information, which is used to detect the position of a vehicle, from the other vehicles traveling near the its own vehicle and specifying positions of its own vehicle and the other vehicles.
自車周辺を走行する他車から、車両の位置を検出するための情報である測位情報を受信して、自車位置及び他車位置を特定することによって、自車と他車との実際の相対位置関係を高い精度で検出することができるようにする。 - 特許庁 - Under a state where the locking protrusion pieces 14, 14 are inserted up to a position matching with the locking recess groove 16 through the filling slots 18, 18, the race 4d is rotated relative to the hollow shaft 11 to deviate the locking protrusion pieces 14, 14 from the filling slots 18, 18.
この入れ溝１８、１８を通じてこの係止突片１４、１４を上記係止凹溝１６に整合する位置に迄進入させた状態で、上記レース４ｄを上記中空軸１１に対し回転させて、上記係止突片１４、１４を上記入れ溝１８、１８からずらせる。 - 特許庁 - When a driver assistance device determines that a vehicle approches the T-shaped intersection blind to drivers, it acquires position information on other vehicles, which has been relayed out by a roadside device, and calculates the relative positional relation between the other vehicles and the vehicle.
運転者支援装置は、車両運転者にとって見通しの悪いエリアであるＴ字路に接近しているものと判定した場合には、路側装置により中継された他車両の位置情報を取得して、他車両と当該自車両との間の相対的な位置関係を算出する。 - 特許庁 - To provide an input device (pointing device) with which continuous transfer is easily performed, an instruction of an absolute position and an instruction of transfer (relative distance) are made compatible, in which width of speed change is large and easy and input of reciprocal motions is facilitated.
連続的な移動が容易に出来ること、絶対位置を指示することと移動(相対距離)を指示することが両立されること、速度の変化の巾が大きく、しかも容易であること、そして往復運動の入力を容易にすることのできる入力装置(ポインティングデバイス)を提供する。 - 特許庁 - By referring to an assignment table for assigning a relative position of an imaging unit 200 to a projection unit 100 one to one for the projection distance and the zoom adjusted value, a moving direction and moving amount of the imaging unit 200 are decided from the projection distance and the zoom adjusted value (step S1004).
投影距離及びズーム調整値について投影ユニット１００に対する撮像ユニット２００の相対位置を一対一に割り当てる割当テーブルを参照することで、撮像ユニット２００の移動方向及び移動量が、投影距離及びズーム調整値から決定される（ステップＳ１００４）。 - 特許庁 - Two end frames are connected to a main frame through turnable joint members and the frame body is covered with a cushion material and further, the surface is wrapped with a cover to form the deformable footboard of which the shape can be varied by changing the relative position of the end frames and the main frame.
２個の端部フレームを、回転運動可能な接続部材を介して主フレームに結合し、このフレーム体をクッション材で覆い、更に表面をカバーで包んでなる足乗せ台であって、端部フレームと主フレームの相対位置を変えることにより形状が変化する変形可能な足乗せ台。 - 特許庁 - By selectively supplying and discharging hydraulic oil via the retard oil passage 18 and the advance oil passage 19 with respect to the retard oil pressure chamber 11 or the advance oil pressure chamber 12, a relative turning position of a vane member 9 is controlled to a retard side or an advance side with respect to a sprocket 1.
遅角油圧室１１あるいは進角油圧室１２に対して遅角油通路１８と進角油通路１９を介して作動油を選択的に給排することにより、スプロケット１に対するベーン部材９の相対回動位置を遅角側あるいは進角側に制御する。 - 特許庁 - To suitably absorb relative displacement caused between a seat and a lock mechanism part installed on a vehicle body side by preventing abnormal load between a striker provided on the seat and an operation cable holding the striker at a reference rotary position of a standing posture, and preventing a large structure.
シートに設けたストライカとこれを起立姿勢の基準回動位置に保持する操作ケーブルとの間に異常な負荷をかけないようにし、かつ、係る構造の大型化を招かないようにして、車体側に設けたロック機構部との間に生じた相対的なずれの変位を好適に吸収する。 - 特許庁 - Then, the discharge direction of the rinse liquid 39 from the nozzle 38 is vertical relative to the surface 1a of the semiconductor wafer 1, and a liquid flow of the rinse liquid 39 discharged from the nozzle 38 is made to abut against a position separated from the center of the surface 1a of the semiconductor wafer 1.
その際、ノズル３８からのリンス液３９の吐出方向を半導体ウエハ１の表面１ａに対して垂直方向になるようにし、ノズル３８から吐出されたリンス液３９の液流が半導体ウエハ１の表面１ａの中心から離れた位置に当たるようにする。 - 特許庁 - The siphon tube 64 employs a sleeve 90 structure provided with lock threads and turnably mounted on the siphon tube 64 so as to allow a siphon system to be easily installed and to ensure that the siphon pipe is accurately disposed relative to the siphon tube 64 when the siphon tube makes turning motion to its working position.
また、サイホン管（64）は、サイホンシステムを容易に設置できるよう回動自在にサイホン管に取り付けられ、サイホン管がその動作位置に回動する際にサイホン管に対するサイホンパイプの正確な配置状態を確保する係止用ねじ山付きスリーブ（90）構造を採用している。 - 特許庁 - A plurality of inner side twist locking devices 14 facing each twist locking device 10 are disposed between the twist locking devices 10, and the amount of movement (a) from the lifting tool center O of the inner side twist locking devices 14 and the relative position of the internal and external twist locking devices 14 are adjustable.
ツイストロック装置１０間に各ツイストロック装置１０に対向する複数の内側ツイストロック装置１４を設けると共に、内側ツイストロック装置１４の吊り具中心Ｏからの移動量ａ及び内外のツイストロック装置１４の相対位置を調節可能とする。 - 特許庁 - By such a configuration, since the relative position of a second casing 2 and a protective cover 10 can be varied when turning the second casing 2 in a direction indicated by an arrow A or B, the protective cover 10 is prevented from being largely loosened near a hinge part 3.
このような構成としたことにより、第２の筐体２を矢印ＡまたはＢに示す方向へ回動させる際に、第２の筐体２と保護カバー１０との相対位置を変動させることができるので、ヒンジ部３近傍において保護カバー１０が大きく弛むことを防止することができる。 - 特許庁 - Besides, the bellow stay 66 is attached, and a bellow attachment member 36 rotatably connected with the engagement portion 35 is provided, and the armrests 16 rotate relative to the support pipe 17 when the baby car is folded, thus lowering the position of the bellow attachment member 36 to the support pipe 17.
また、幌ステー６６を取り付け、係合部分３５に回動自在に連結された幌取付部材３６が設けられており、ベビーカーを折り畳み状態としたときに、アームレスト１６が支持パイプ１７に対して回転し、幌取付部材３６の位置が支持パイプ１７に対して降下する。 - 特許庁 - Since the contact or separation is made by regulating the sliding quantity of the frame body 23, a contact state such as contact pressure and relative position between the cleaning brush 24 and the charging roller 21 is stabilized, and the efficient cleaning of the charging roller 21 is performed over a long period.
この接触又は離隔は枠体２３の摺動の量を規制することにより行うので、クリーニングブラシ２４と帯電ローラ２１との接触圧や相対的な位置等の接触状態は安定し、長期にわたって帯電ローラ２１の良好なクリーニングが行われる。 - 特許庁 - To ensure an operator to be notified when an error in writing a frequency identification (FR-ID) tag occurs and to enable reading/writing over the RF-ID tag readily as soon as a print command is issued even in cases where the RF-ID tag is embedded in any position relative to a label.
ラベルに対してどの位置にＲＦ−ＩＤタグが埋設されている場合でも、印字指令が出るとすぐにＲＦ−ＩＤタグへの読み込み／書き込みを行うことができると共に、ＲＦ−ＩＤタグへの書き込みエラーが発生した場合には、確実にオペレータに知らせること。 - 特許庁 - In this case, since the mold thickness is adjusted by changing the relative position of the first and second movable members, it is possible to decrease the number of the components that must be moved when the mold thickness is adjusted, and to enhance the precision of mold thickness adjustment.
この場合、前記第１、第２の可動部材の相対的な位置を変えることによって型厚の調整を行うようになっているので、型厚を調整する際に移動させる必要のある部品を少なくすることができ、型厚の調整の精度を高くすることができる。 - 特許庁 - A culture vessel regulating plate 300 is equipped with vessel holes 301 for directly positioning the relative position relation of cell culture vessels 200 to the holder 100 to place the cell culture vessels 200 and a small hole 302 for positioning the culture vessel regulating plate 300 on the holder 100.
培養容器規制板３００は、細胞培養容器２００を載置するホルダ１００に対して細胞培養容器２００の相対位置関係を直接的に位置決めする容器用孔３０１と、ホルダ１００に培養容器規制板３００を位置決めする小孔３０２とが形成されている。 - 特許庁 - An information delivery server 30 has a constitution equipped with a POI database 37 wherein POI information including position information of each POI is stored relative to each POI in the classified state by each category, a POI retrieval means 38, and a POI sorting means 39, and is connected to a portable terminal 20 through a network.
情報配信サーバ３０は、ＰＯＩ毎にＰＯＩの位置情報を含むＰＯＩ情報をカテゴリ別に記憶したＰＯＩデータベース３７と、ＰＯＩ検索手段３８と、ＰＯＩソート手段３９とを備えて構成され、ネットワークを介して携帯端末２０に接続される。 - 特許庁 - A shaft member 11b on the fixed side member 11 side abutting on the one end 21 of the torsion spring 20 to latch the end 21 is connected to a link member 14, and a relative position in relation to the fixed side member 11 is moved by interlocking with rising up rotation of the seat 1.
捩りばね２０の一端２１と当接してこれを掛着させている固定側部材１１側の軸部材１１ｂは、リンク部材１４と連結されていて、シート１の起こし上げの回動に連動して固定側部材１１に対する相対位置を移動させるようになっている。 - 特許庁 - In this state, voltage is applied between the electrode 40 and the conductive film 22, and while the distance is kept unchanged, the relative position of the electrode 40 and the metal oxide film 23 is changed, and the specific resistance of the metal oxide film 23 is locally changed so that a circuit pattern can be formed.
この状態で電極４０と導電膜２２との間に電圧を印加するとともに、距離を保持したまま電極４０と金属酸化物膜２３との相対位置を変化させ金属酸化物膜２３の比抵抗を局所的に変化させることにより回路パターンを形成する。 - 特許庁 - Since the shaft 12 and the thrust plate 14 are integrally formed in an assembling process for the fluid dynamic-pressure bearing system and the spindle motor, a relative position relation between the shaft 12 and the thrust plate 14 is not changed, and perpendicurality and coaxiality thereof are constantly kept.
シャフト部１２とスラストプレート部１４とが一体に形成されているため、流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においてシャフト部１２とスラストプレート部１４との相対位置関係が変化せず、これらの直角度及び同軸度が一定に保たれる。 - 特許庁 - To provide a plotting apparatus in which the precision of a liquid droplet to be landed at a spot of a substrate from a discharge head can be improved by correcting relative position of the discharge head to the substrate at each spot even when the precision of a liquid material to be landed varies at each spot of the substrate.
液状材料の着弾精度が基板の各所において異なる場合であっても、各所毎に吐出ヘッドと基板との相対的位置を補正して、吐出ヘッドからの液滴の着弾精度を向上させることができる描画装置等を提供する。 - 特許庁 - To provide an operation information providing system for transportation facilities, with which a stop of transportation facilities which exists near a present position can immediately be recognized and operation information relative to the stop can easily be obtained even if a user does not know the name of the stop of transportation facilities and a route name.
使用者が交通機関の停留所等の名前や路線名などを知らなくても、現在位置の近傍に存在する交通機関の停留所等が即座に判り、当該停留所等に係わる運行情報が容易に取得できる交通機関の運行情報提供システムを提供する。 - 特許庁 - In the state, the counter determining the display position of the other pointer in a normal display state is changed temporarily to another counter, and the number of moving steps of a second pointer relative to a unit correction time is increased, to thereby enlarge and display deviation of a timing to be corrected.
また、その状態においては、通常表示状態において他方の指針の表示位置を決めているカウンタを臨時に他のカウンタに変更し、単位修正時間に対する第二指針の移動ステップ数を増やすことによって、修正されるタイミングのずれを拡大表示する。 - 特許庁 - Then, the amount of etching is measured at least at two locations of the outer periphery of the wafer W, the difference in the amount of etching measured at the two locations is reduced, and the relative position of the semiconductor wafer W to the annular tool 5 is adjusted, thus performing plasma etching to a next semiconductor wafer.
その後、ウエーハＷの外周部の２箇所以上でエッチング量を測定し、２箇所以上で測定したエッチング量の差が小さくなるようにリング状の治具５に対する半導体ウエーハＷの相対位置を調整して次の半導体ウエーハのプラズマエッチングを行う。 - 特許庁 - The flow rate based on the relative flow is measured by a fluid sensor 4 to be effectively used for an experimental analysis capable of obtaining an angular speed based on an impact force operated at a predetermined position of the doll by the collision.
流体センサ４により、上記相対流動に基づく流量を計測することにより既知の流量と角速度との関係を利用して、衝突によりダミー人形９の所定位置に作用した衝撃力に基づく角速度を求めることができる実験解析に有効に利用することができる。 - 特許庁 - To provide a coated building plate not largely impairing a coating appearance even if a coating position of a colored pattern is slightly deviated relative to a recession/projection pattern in the coated building plate in which the colored pattern is formed by an ink jet system while synchronizing it to the recession/projection pattern of a building plate.
建築板の凹凸模様に同調させて色柄模様をインクジェット方式で塗装した塗装建築板において、凹凸模様に対して色柄模様の塗装位置が多少ずれていても、塗装外観が大きく損なわれることがない塗装建築板を提供する。 - 特許庁 - The display unit and the barrier are fixed by a fixing member (40) in order to prevent the fluctuation of the relative position of the pixel of the display unit to the aperture of the barrier, and also transparent spherical minute members (60) are made to intervene between the display unit and the barrier so as to form a void between both of them.
表示器の画素とバリアの開口の相対位置の変動を防止するために表示器とバリアを固定部材（４０）によって固定するとともに、表示器とバリアの間に透明で球状の微小部材（６０）を介在させて、両者の間に空隙を形成する。 - 特許庁 - The vibration eliminating device comprises an object not to be vibrated, a reference object, measuring equipment for the position of the object not to be vibrated relative to the reference object, a drive mechanism for object in accordance with the measurement result of the measuring equipment, and an actuator for supporting the reference object.
除振装置は、除振対象物体、基準物体、基準物体に対する除振対象物体の位置を計測する計測器、計測器による計測結果に基づいて除振対象物体を駆動するための駆動機構及び基準物体を支持するアクチュエータを備える。 - 特許庁 - When a gate member 62 is arranged at a restraining position P1 and a pressing protrusion 84 is inserted in a pressed groove 74, an abutting member 70 rotates around a supporting shaft 65B relative to a holding member 65 against a biasing force of a biasing member 76 in a direction, in which a chip is separated from a rotary shaft 46A.
ゲート部材６２が規制位置Ｐ１に配置され、押圧突部８４が被押圧溝７４へ挿入されると、突当部材７０は、付勢部材７６の付勢力に抗して、保持部材６５に対して支持軸６５Ｂ周りに先端部が回転軸４６Ａから離れる方向へ回転する。 - 特許庁 - In a left side surface 32b of the shutter part 32, a plurality of micro light refraction part 32c having circular and convex lens shapes are provided with projections, and the arranged density of the light refraction parts 32c differs according to the position along a movement locus L which is the relative moving direction of the path axis B in the shutter part 32.
シャッタ部３２の左側面３２ｂには、円形状で凸レンズ状の微小な光屈折部３２ｃが多数突設され、光屈折部３２ｃの配設密度は、シャッタ部３２に対する経路軸Ｂの相対的移動方向である移動軌跡Ｌに沿う位置に応じて異なる。 - 特許庁 - To provide an image forming apparatus for suppressing vibration and deviation in a position of a process cartridge relative to an apparatus body even when a developer carrier is separated from a photoreceptor, thereby preventing degradation in image formation accuracy and shortening correction time during image formation.
現像剤担持体を感光体に対して離間させても、プロセスカートリッジの装置本体に対する位置ずれや振動を抑制することができ、画像形成精度の低下を防止し、画像形成時の補正時間の短縮を図ることのできる、画像形成装置を提供すること。 - 特許庁 - Displacement of the reference positions is determined for the plurality of ion implantation processes based on the measurement of the electric characteristics for the first active region 13 from a plurality of unit monitor elements of the first and second active regions 13 and 15, each having a differentiated relative position.
第１活性領域１３と第２活性領域１５との相対位置を異ならせた複数の単位モニター素子からの、第１活性領域１３に対する電気特性測定結果に基づいて、複数のイオン注入工程の基準位置同士のずれ量を求めるようにした。 - 特許庁 - In transferring the pattern of a mask R onto a substrate W by moving a mask stage RST and a substrate stage WST, deformation of the body 14 is detected by the strain meter 80, and the relative position between the mask and the substrate is controlled, according to the detected result of the strain meter.
マスクステージＲＳＴと基板ステージＷＳＴとを移動してマスクＲのパターンを基板Ｗ上に転写する際に、歪み計８０によりボディ１４の変形が検出され、制御系ではその歪み計の検出結果に応じてマスクと基板との相対位置を制御する。 - 特許庁
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