CMP POLISHING LIQUID AND POLISHING METHOD CMP研磨液及び研磨方法 - 特許庁
CMP POLISHING COMPOUND AND POLISHING METHOD CMP研磨剤及び研磨方法 - 特許庁
METHOD OF INJECTING CMP SLURRY CMPスラリーを注入する方法 - 特許庁
DRESSER FOR CMP PROCESSING, CMP PROCESSING DEVICE, AND DRESSING TREATMENT METHOD OF POLISHING PAD FOR CMP PROCESSING CMP加工用のドレッサ及びCMP加工装置並びにCMP加工用の研磨パッドのドレッシング処理方法 - 特許庁
The composition can further contain an oxidizing agent, and in this case, the composition is particularly useful in relation to an associated method for metal CMP applications (such as copper CMP). 組成物はさらに酸化剤を含むことができ、その場合には、組成物は、金属CMP用途(例えば銅CMP)のための関連方法に関して特に有用である。 - 特許庁
CMP ABRASIVE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR CMP研磨剤及び製造方法 - 特許庁
APPARATUS FOR TREATING CMP SLURRY WASTE LIQUID AND METHOD OF TREATING CMP SLURRY WASTE LIQUID CMPスラリー廃液処理装置及びCMPスラリー廃液処理方法 - 特許庁
COMPOSITION OBJECT FOR CMP ABRASIVE PAD, CMP ABRASIVE PAD AND METHOD OF MAKING IT CMP研磨パッド用組成物、CMP研磨パッドおよびその製造方法 - 特許庁
POLISHING SOLUTION FOR CMP, AND POLISHING METHOD USING THE POLISHING SOLUTION FOR CMP CMP用研磨液及びこのCMP用研磨液を用いた研磨方法 - 特許庁
CMP METHOD, CMP APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE CMP研磨方法、CMP研磨装置、及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
POLISHING HEAD OF CMP POLISHER CMP研磨装置における研磨ヘッド - 特許庁
CMP POLISHING DEVICE AND POLISHING METHOD CMP研磨装置及び研磨方法 - 特許庁
BARRIER LAYER BUFF PROCESSING AFTER COPPER CMP 銅CMP後の障壁層バフ加工 - 特許庁
TREATMENT METHOD OF METAL-BASED CMP WASTE WATER メタル系CMP排水の処理方法 - 特許庁
CMP CONDITIONER AND ITS MANUFACTURE CMPコンディショナ及びその製造方法 - 特許庁
POLISHING LIQUID FOR CMP AND POLISHING METHOD CMP用研磨液及び研磨方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING CMP SLURRY RAW MATERIAL CMPスラリー原料の製造方法 - 特許庁
CMP POLISHING PAD INCLUDING SOLID CATALYST 固体触媒を含むCMP研磨パッド - 特許庁
SOLID PERSULFATE FOR CMP POLISHING SOLUTION CMP研磨液用固体過硫酸塩 - 特許庁
CMP SLURRY COMPOSITION FOR METAL WIRING 金属配線用CMPスラリー組成物 - 特許庁
POLISHING SOLUTION FOR CMP AND POLISHING METHOD CMP用研磨液及び研磨方法 - 特許庁
CMP DEVICE, CMP POLISHING METHOD, AND SEMI-CONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME CMP装置、CMP研磨方法、半導体装置及びその製造方法 - 特許庁
CMP PAD CONDITIONER IN SEMICONDUCTOR PLANARIZATION CMP PROCESS 半導体平坦化CMPプロセス(化学機械的研磨)におけるCMPパッドコンディショナー。 - 特許庁
CMP SYSTEM, METHOD FOR INITIALIZING CMP POLISHING PAD AND SEMICONDUCTOR DEVICE CMP装置及びCMP用研磨パッドのイニシャライズ方法及び半導体装置 - 特許庁
CMP CONDITIONER, METHOD FOR ARRANGING HARD ABRASIVE GRAIN USED IN CMP CONDITIONER AND METHOD FOR MANUFACTURING CMP CONDITIONER CMPコンディショナー、CMPコンディショナーに使用する硬質砥粒の配列方法、及びCMPコンディショナー製造方法 - 特許庁
POLISHING CLOTH FOR CMP PROCESSING, CMP DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE CMP加工用研磨布、CMP装置並びに半導体装置の製造方法 - 特許庁
CMP SLURRY FOR PLANARIZING METAL 金属を平坦化するためのCMPスラリー - 特許庁
HIGH THROUGHPUT LOW TOPOGRAPHY COPPER CMP PROCESS 高スループット低形状銅CMP処理 - 特許庁
CMP DEVICE AND FIXING METHOD OF DRESSER CMP装置及びドレッサの固定方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING POLISHING PAD FOR CMP (CHEMICAL MECHANICAL POLISHING) CMP用研磨パッドの製造方法 - 特許庁
CMP PAD CONDITIONER IN SEMICONDUCTOR PLANARIZATION CMP PROCESS (CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING) 半導体平坦化CMPプロセス(化学機械的研磨)におけるCMPパッドコンディショナー - 特許庁
POLYMER AND COMPOSITION FOR CMP ABRASIVE CMP研磨剤用ポリマー及び組成物 - 特許庁
POLISHING PAD FOR CMP AND POLISHING METHOD CMP用研磨パッド、及び研磨方法 - 特許庁
POLISHING PAD FOR CMP CONTAINING BUBBLES 気泡を含有するCMP用研磨パッド - 特許庁
CMP ABRASIVE AND METHOD OF ABRADING SUBSTRATE CMP研磨剤及び基板の研磨法 - 特許庁
INTEGRAL SiC-CMP DRESSER PAD 一体構造型SiC—CMPドレッサーパッド - 特許庁
SURFACE PLATE PROTECTING DEVICE IN CMP APPARATUS CMP装置における定盤保護装置 - 特許庁
POLISHING HEAD IN CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) POLISHING DEVICE CMP研磨装置における研磨ヘッド - 特許庁
CMP CONDITIONER AND ITS MANUFACTURING METHOD CMPコンディショナおよびその製造方法 - 特許庁
PLANARIZATION TREATMENT METHOD AND CMP APPARATUS 平坦化処理方法及びCMP装置 - 特許庁
CMP ABRASIVE MATERIAL AND ABRASION OF SUBSTRATE CMP研磨剤及び基板の研磨方法 - 特許庁
CMP APPARATUS, POLISHING PAD, AND POLISHING METHOD CMP装置、研磨パッド及び研磨方法 - 特許庁
CMP ABRASIVE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME CMP研磨剤及びその製造方法 - 特許庁
IMPROVED CMP PLATEN HAVING PATTERN SURFACE パターン面を備える改良型CMPプラテン - 特許庁
CMP APPARATUS AND METHOD OF CLEANING WAFER CMP装置及びウェハーの洗浄方法 - 特許庁
CMP ABRASIVE AND METHOD OF POLISHING BOARD CMP研磨剤及び基板の研磨方法 - 特許庁
CMP ABRASIVE AND SUSTRATE-POLISHING METHOD CMP研磨材および基板の研磨方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING CMP-N-ACETYLNEURAMINIC ACID CMP−N−アセチルノイラミン酸の製造法 - 特許庁
SLURRY SUPPLY DEVICE OF CMP DEVICE CMP装置におけるスラリー供給装置 - 特許庁
CMP PAD HAVING STREAMLINE-SHAPED WINDOWPANE 流線形の窓ガラスを有するCMPパッド - 特許庁