PATTERN FORMING PROCESS AND RESIST-MODIFYING COMPOSITION パターン形成方法及びレジスト変性用組成物 - 特許庁
POSITIVE-TYPE RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD 感光性レジスト組成物及びパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION AND CIRCUIT PATTERN FORMING METHOD 感光性組成物及び回路パタ—ン形成方法 - 特許庁
POSITIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE RESIST COMPOSITION ポジ型レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING PHOTOSENSITIVE COMPOSITION 感光性組成物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE COMPOSITION 感光性樹脂組成物および該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST COMPOSITION AND METHOD AND DEVICE FOR FORMING PATTERN 感光性樹脂組成物、レジスト組成物、パターン形成方法およびデバイス - 特許庁
While the coating composition is in contact with the surface of the resist pattern, the resist patterncomposition is heat-treated to diffuse an acid in the coating composition from the resist pattern. コーティング組成物がレジストパターンの表面に接触した状態でレジストパターンを熱処理して、レジストパターンからコーティング組成物に酸を拡散させる。 - 特許庁
COMPOSITION FOR FORMING CONDUCTIVE PATTERN AND METHOD FOR FORMING CONDUCTIVE PATTERN 導電性パターン形成用組成物及び導電性パターンの形成方法 - 特許庁
POSITIVE RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION, METHOD OF FORMING HARDENING PATTERN, AND HARDENING PATTERN ポジ型感放射線性組成物、硬化パターン形成方法及び硬化パターン - 特許庁