「interferometers」を含む例文一覧(120)

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  • The third fine movement stage measurement system includes an encoder system including a plurality of Y heads 96, 97 and a laser interferometer system including laser interferometers 76a-76d.
    第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 - 特許庁
  • The phase noise can be removed at least partially by using a delay/phase correlation approach against two interferometers 12, 14 in an interferometer system 42.
    干渉計システム(42)内の２つの干渉計(12及び14)に対して遅延/位相相関アプローチを使用することにより、位相雑音を少なくとも部分的に除去する。 - 特許庁
  • On the basis of the measured results, the bending of fixed mirrors 47A and 47B to which the length measuring beams B1 and B2 of the Z interferometers 43A and 43B are projected is obtained.
    これらの計測結果より、Ｚ干渉計４３Ａ，４３Ｂの測長ビームＢ１，Ｂ２が投射される固定鏡４７Ａ，４７Ｂの曲がりを求める。 - 特許庁
  • This device comprises: a plurality of laser interferometers 3a-3q; a position measuring part 82 measuring the position of a slider 2; and a selecting part 81 selecting a laser interferometer used for controlling the position of the slider 2 out of the plurality of interferometers 3a-3q according to the measurement position of the slider measured by the position measuring means 82.
    複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑと、スライダ２の位置を計測する位置計測部８２と、位置計測手段８２により計測されるスライダの計測位置に応じて、複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑの中からスライダ２の位置制御のために使用するレーザ干渉計を選択する選択部８１と、を備える。 - 特許庁
  • To provide an optical phase modulation evaluation device capable of measuring a relative bit-phase difference of an optical phase modulation signal highly accurately by providing two bit delay interferometers as optical phase wave detectors of the optical phase modulation signal, and setting the bit delay interferometers to have a predetermined phase difference.
    光位相変調信号の光位相検波器としてビット遅延干渉計を２つ備えるとともにそれらのビット遅延干渉計間に所定の光位相差を持たせることによって、光位相変調信号の相対ビット間位相差の測定を高精度に行える光位相変調評価装置を提供する。 - 特許庁
  • A plurality of these interferometers can be stacked, each being optimized for a specific pitch so that the stack provides a variable pitch interferometry system.
    これらの複数の干渉計は積層することができ、その各々は積層体が可変ピッチ干渉システムを提供するように、特定のピッチに対して最適化される。 - 特許庁
  • A circuit board and an optical axis of a lens cylinder 32 are aligned by using one or more interferometers 34, 35, a plurality of mirrors 52, 56 and a control device.
    一つあるいは二つ以上の干渉計３４、３５、複数の鏡５２、５６および制御装置を用いて、回路基板とレンズ筒３２の光学軸との位置合わせを行う。 - 特許庁
  • Interferometers are installed on both faces to measure a parallelism and a flatness on obverse and reverse faces of an opaque sample concurrently, and an incident angle into the sample is widened using a prism.
    不透明な試料の表裏面の平行度を同時に平面度を測定するために、両面に干渉計を設置し、プリズムを用いて試料への入射角を大きくした。 - 特許庁
  • The optical filter 1 is provided with three Mach-Zehnder interferometers 141-143 cascaded between a 1st optical input/output terminal 101 and a 2nd optical input/output terminal 102.
    光フィルタ１は、第１光入出力端１０１と第２光入出力端１０２との間に３つのマッハツェンダ干渉計１４１〜１４３が縦続接続されている。 - 特許庁
  • An optical delay circuit 114 outputs optical signals in which optical signals outputted form the plural light interferometers 113 are respectively delayed by a prescribed time and they are bound.
    光遅延回路１１４は、複数の光干渉計１１３が出力する光信号のそれぞれを所定の時間遅延させて結合した光信号を出力する。 - 特許庁
  • An I branch 102 and a Q branch 103 are provided with interferometers 104, 107, balanced optical detectors 110, 113, and data recovery circuits 111, 114, respectively.
    Ｉブランチ１０２およびＱブランチ１０３には、それぞれ、干渉計１０４、１０７、バランスド光検出器１１０、１１３、データ再生回路１１１、１１４が設けられている。 - 特許庁
  • Thus, the miniaturization of the OADM and the low insertion loss are realized by integrating the MZ interferometers in which the grating is written and the TO switch on the silicon substrate.
    グレーティングを書き込んだＭＺ干渉計とＴＯスイッチとをシリコン基板上に集積することにより小型化と低挿入損失とを実現することができる。 - 特許庁
  • Then, the photon is detected by one of the two single-photon detectors related to each output of the two interferometers at one of three time slots.
    その後、光子は、二つの干渉計出力の各々に関連する、二つの単一光子検出器の一つによって、三つの時間スロットの一つにおいて、検出される。 - 特許庁
  • To provide an XY stage which does not require changeover between a plurality of laser interferometers even in the case that a slider part moves over a platen beyond the size of a mounted mirror.
    スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。 - 特許庁
  • The input wave guide paths 21, 22 of the AWG20 are composed of Mach-zehnder interferometers having the same frequency spacing as the AWG20.
    ＡＷＧ２０の各入力導波路２１，２２は、ＡＷＧ２０の光周波数スペーシングと同じ自由スペクトル領域を有するマッハツェンダー干渉計で構成されている。 - 特許庁
  • Plural light interferometers 113 are plural light interferometers which receive the optical short pulse signal outputted by the light source 112 and branch the pulse signal into optical waveguide pairs having prescribed optical path length differences and outputs optical signals by binding outputs of the optical waveguide pairs and their optical path length differences form a geometric progression in which an integer of 2 or more is made to be a common ratio.
    複数の光干渉計１１３は、光短パルス光源１１２が出力する光短パルス信号を入力とし、当該入力を所定の光路長差の光導波路対に分岐させてから結合して出力する複数の光干渉計であって、当該行路差は、２以上の整数を公比とする等比数列をなす。 - 特許庁
  • The PLC type variable dispersion compensator 10 comprises: the Mach-Zehnder interferometers (MZI) 21-25 cascaded on a planar lightwave circuit 11; and variable couplers 31-34 connected between each MZIs, respectively.
    PLC型可変分散補償器１０は、平面光波回路１１上の多段接続したマッハツェンダー干渉計（MZI）２１〜２５と、各MZI間に接続された可変カプラ３１〜３４とを備える。 - 特許庁
  • The correction quantity arithmetic part 44_1 calculates correction quantity ΔT corresponding to a yaw angle based on a difference(L1-L2) between distances L1 and L2 measured by Y1 and Y2 laser interferometers 36 and 37.
    補正量演算部４４_１は、Ｙ１，Ｙ２レーザ干渉計３６，３７により計測された距離Ｌ１，Ｌ２との差（Ｌ１−Ｌ２）に基づいて、ヨー角に応じた補正量△Ｔを演算する。 - 特許庁
  • The PLC type variable dispersion compensator 10A comprises: the Mach-Zehnder Interferometers (MZI) 21-25 cascaded on a planar lightwave circuit; and variable couplers 31-34 connected to between each MZIs respectively.
    PLC型可変分散補償器１０Ａは、平面光波回路１１上の多段接続したマッハツェンダー干渉計（MZI）２１〜２５と、各MZI間に接続された可変カプラ３１〜３４とを備える。 - 特許庁
  • A control part 4 decides the position of the stage according to the measured length of laser beam which does not irradiate a division position A between two wavelengths obtained by the laser interferometers 7 and 8.
    制御部４では、各レーザ干渉計７，８による２つの測長のうち、分割位置Ａを照射していないレーザ光による測長に基づきステージの位置を判定する。 - 特許庁
  • When the stage top board 111 is roughly formed in a rectangle, the laser interferometers 311a-311c, 312a, and 312b of the first measuring instrument are arranged at the central part of the top board 111 being the nodes of the primary and secondary elastic modes of the stage top board 111.
    ステージ天板がほぼ長方形である場合、前記第１計測器のレーザ干渉計はステージ天板の１次、及び２次の弾性モードの節となる中央部に配置する。 - 特許庁
  • (xlv) Interferometers for measuring fluid velocities, manganin pressure gauges, or quartz pressure transducers that fall under any of the following
    四十五　流体の速度を測定するための干渉計、マンガニンを用いた圧力測定器又は水晶圧電型圧力センサを用いた圧力変換器であって、次のいずれかに該当するもの - 日本法令外国語訳データベースシステム
  • To correct measurement results in wavefront aberrations of tested lenses by analytically obtaining system-inherent astigmatism and coma aberration components caused by system error of interferometers.
    干渉計装置のシステム誤差に起因するシステム固有のアス収差成分やコマ収差成分を解析的に求めて、被検レンズの波面収差の測定結果を補正し得るようにする。 - 特許庁
  • The pattern drawing device controls, in a drawing process, the position of a stage on the basis of a position parameter measured by first and second interferometers and on the basis of a given environmental parameter (in a fixed value mode).
    パターン描画装置は、描画処理時には、第１および第２の干渉計により計測された位置パラメータと、一定の環境パラメータとに基づいてステージの位置を制御する（固定値モード）。 - 特許庁
  • Transmission type interferometers 5, 6 are installed before and after a coating process, and the thickness distribution of a film base 2 and the thickness distribution of a photograph film 4, where the film base 2 is coated with the sensitive material 3, are measured.
    透過型干渉計５，６を塗布工程前後にそれぞれ設置し、フイルムベース２の厚み分布と、フイルムベース２に感光材料３が塗布された写真フイルム４の厚み分布とを測定する。 - 特許庁
  • An optical DQPSK signal is made incident on two optical interferometers in each which a delay-time difference between two arms is set to be equal to a 1-symbol time of the optical DQPSK signal and which are orthogonal to each other.
    光ＤＱＰＳＫ信号を、２つのアームの遅延時間差が光ＤＱＰＳＫ信号の１シンボル時間に等しく設定されかつ互いに直交する、２台の光干渉計に入射させる。 - 特許庁
  • Optical pulse from an optical pulse source 9 is made incident on a variable optical delay line circuit composed of cascade-connected characteristic-variable asymmetrical Mach-Zehnder interferometers 102 and 102, through an optical multiplexer/demultiplexer 101.
    パルス光源９からパルス光を、光合分波器１０１を介して、縦続接続特性可変非対称マッハツェンダ型干渉計１０２，１０３でなる可変光遅延線回路に入射する。 - 特許庁
  • A common adjustment part 11 adjusts the phase shifters of both the delay interferometers 1a, 1b based on an output signal from the optical detector 2a and an output signal from the data reproduction circuit 5b.
    共通調整部１１は、光検出器２ａの出力信号およびデータ再生回路５ｂの出力信号に基づいて、両遅延干渉計１ａ、１ｂの移相要素を調整する。 - 特許庁
  • The reference mirrors 8, 9, and 10, confronting the interferometers 1 to 6 in X, Y, and Z directions, respectively, are supported on ends of cantilevers 11, 12, and 13, with one bedrock support 14 trifurcated thereinto.
    測長干渉計１〜６に対向するＸ、Ｙ、Ｚ方向の基準ミラー８、９、１０は、一本の根幹支柱１４から三股に分岐する片持ち梁１１、１２、１３の先端に支持される。 - 特許庁
  • A control circuit 40, 50 adjusts the phase of the phase section 22, 32 in the optical interferometers 20, 30 to reduce this difference signal, so that the phase difference between the two arms is set to a desired phase difference.
    制御回路４０、５０は、この差信号が小さくなるように、光干渉計２０、３０内部のそれぞれの位相部２２、３２の位相を調整し、２つのアームの位相差を所望の位相差にする。 - 特許庁
  • The position of a stage WST in the vertical (Z) direction and the inclination (θy) direction to the moving surface is measured by surface position sensors 72_k, 74_i and 76_j and Z interferometers 43A and 43B.
    移動面に対する垂直（Ｚ）方向及び傾斜（θｙ）方向のステージＷＳＴの位置を、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊとＺ干渉計４３Ａ，４３Ｂとを用いて計測する。 - 特許庁
  • In a main arithmetic processing section 70, subtracters 72, 74, 76 obtain deviations of measured values of laser interferometers 18 to 20 from target positions by X, Y, θ axes and those deviations are supplied to controllers Kx(s), Ky(s), Kθ(s).
    メイン演算処理部７０では、減算器７２，７４，７６で各Ｘ，Ｙ，θ軸毎の目標位置とレーザ干渉計１８〜２０の計測値との偏差を求め、この偏差がコントローラＫｘ(s)，Ｋｙ(s)，Ｋθ(s)に供給される。 - 特許庁
  • A mechanism required for making reference faces of the interferometers as the shape measuring means parallel to a measured face is omitted, because a measuring gain is precisely and accurately regulated by this manner.
    これにより測定ゲインを精確に調整することができるので，形状測定手段としての干渉計の参照面と被測定面とを平行にするのに必要とされる機構を省略することができる。 - 特許庁
  • The optical path length differences are thus set and then a chaos dynamical system does not hold for the intensity of light outputted by the optical interferometers 41 to 44, so that the addition theorem does not stand up and no chaos mapping is present.
    このように光路長差を設定すると、光干渉計４１〜４４が出力する光の強度に関してカオス力学系が成立しなくなり、加法定理が成立せず、カオス写像も存在しなくなる。 - 特許庁
  • To provide a planar lightwave circuit that reduces stress birefringence difference caused by the circuit, and eliminates polarization dependency of all interferometers simultaneously by over-etching.
    本発明は、回路による応力複屈折差を減少させ、オーバーエッチングで全ての干渉計を同時に偏波無依存化することを可能とする平面光波回路及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
  • Phase information is obtained by supplying each remaining copy to a respective one of a pair of optical delay interferometers that have orthogonal phase offsets, followed by respective balanced intensity detectors.
    位相情報は、対応する平衡強度検出器が後続する、直交位相オフセットを有する一対の光遅延干渉計のそれぞれ対応する１つに残りのコピーの各々を供給することによって得られる。 - 特許庁
  • At this point, the position of the stator 27 is measured with interferometers 32 and 33, and when the stator 27 is moved, control signals given to the actuator 36 are corrected so as to enable the stator 27 to recover its original position.
    このとき、固定子２７の位置は干渉計３２，３３により計測されており、固定子２７が移動した場合には、固定子３６が元の位置に戻るように、アクチュエータ２７に対する制御信号を補正する。 - 特許庁
  • A laser length measuring system comprises a laser light source 31, a three-axis interferometer 32, bar mirrors 33, 34, 36, 38 and uniaxial interferometers 35, 37 and detects the position of a chuck 10 and the position of a mask holder 20.
    レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。 - 特許庁
  • Then optical pulse is fed back to the optical multiplexer/demultiplexer 101 from the final stages of the cascade-connected characteristic-variable asymmetrical Mach-Zehnder interferometers 102 and 103 through an optical exclusive OR circuit 104 and an optical amplifier 14.
    そして縦続接続特性可変非対称マッハツェンダ型干渉計１０２，１０３の後段から、光排他的論理和回路１０４および光増幅器１４を介して、光パルスを光合分波器１０１にフィードバックする。 - 特許庁
  • In the phase adjusting method of the demodulating device 1, phase adjustments of Mach-Zehnder interferometer circuits (MZI) 6 and 7 are made by driving any of heaters on two waveguides 10 and 11 in the Mach-Zehnder interferometers 6 and 7.
    遅延復調デバイス１の位相調整方法は、各マッハツェンダー干渉計回路６，７の、２つの導波路１０，１１のいずれか一方上にあるヒータを駆動させることにより、各マッハツェンダー干渉計回路の位相を調整する。 - 特許庁
  • A return reflector (410) and a non-polarization beam splitter system (1010) split the synthetic beam (OUT0) into separate input beams (IN1, IN2, and IN3) for axes of the interferometers (1000 and 1100), and return a separate beam for each second-time passage through the interference optical system.
    リターン反射器(410)と非偏光ビームスプリッタシステム(1010)が、干渉計(1000,1100)の種々の軸に関して合成ビーム(OUT0)を分離入力ビーム(IN1,IN2,IN3)へと分割し、干渉光学系を通るそれぞれの第2回目の通過のために分離ビームを戻す。 - 特許庁
  • In addition, it is also provide with an X linear motor 4 and a Y linear motor 5 as a driving mechanism for driving the stage, and the controller controls the driving mechanism, on the basis of the corrected measurement result of the laser interferometers 3x and 3y.
    また、前記ステージを駆動する駆動機構であるＸリニアモータ４とＹリニアモータ５をさらに備え、前記コントローラは前記補正したレーザ干渉計３ｘ，３ｙの計測結果に基づいて前記駆動機構を制御する。 - 特許庁
  • The optical device includes: spatial interference type interferometers 2, 3 having different light-condensing positions in accordance with a phase of a first beam input; and a plurality of light-receiving elements 5 disposed corresponding to the light-condensing positions in accordance with the phase of the first beam.
    入力される第１光の位相に応じて集光位置が異なる空間干渉型の干渉計２，３と、前記第１光の位相に応じた前記集光位置に対応して配置された複数の受光素子５と、をそなえる。 - 特許庁
  • The device has stages 1 and 2 having a direct action guiding mechanism, laser interferometers 3a and 3b and two positioning measurement means in the axial direction of position detection sensors 8a, 9a; 8b, 9b, which are less likely to be affected by the variations in the refractivity of gas, as compared with the laser interferometer.
    装置は、直動案内機構を有するステージ１，２と、レーザー干渉計３ａ，３ｂと、レーザー干渉計よりも気体の屈折率変化に影響を受け難い位置検出センサー８ａ，９ａ；８ｂ，９ｂという一軸方向に２つの位置計測手段を有する。 - 特許庁
  • The interferometers 9a and 9b emit the measurement light and the reference light and measure the position in the vertical direction of the fine adjustment stage 1 using the measurement light reflected on the first reflection surface 66 and the reference light reflected on the second reflection surface.
    干渉計９ａ，９ｂは、計測光及び参照光を出射し、第１反射面６６で反射された計測光と第２反射面で反射された参照光とを用いて微動ステージ１の鉛直方向の位置を計測する。 - 特許庁
  • A beam source (110) for heterodyne interferometers generates rays containing components, having a circularly polarized light that has different frequencies and orthogonally crosses each other, and transmits the rays toward an isotropic single-mode optical fiber or a small number of optical fibers (130).
    ヘテロダイン干渉計用のビーム源（１１０）は、周波数が異なり、かつ、それぞれ直交する円偏光を有する成分を含む光線を生成し、その光線を、等方性シングルモード光ファイバまたは少数モード光ファイバ（１３０）に向けて送る。 - 特許庁
  • In an optical receiver 101 that receives an optical signal which has been modulated by a differential M phase phase-shift modulation method, each of delay interferometers 3-1 and 3-2 is inputted with an optical signal that has been branched at a branch part 2 individually.
    差動Ｍ相位相シフト変調方式によって変調された光信号を受信する光受信装置１０１において、遅延干渉計３−１，３−２の各々には、分岐部２で分岐された光信号が個別に入力される。 - 特許庁
  • To ensure accurate alignment of the lens cylinder 32 and the circuit board, one or more interferometers 34, 35 use a plurality of beams having respective paths, that is, a plurality of beam lengths which change depending on the movement of the optical axis.
    レンズ筒３２と回路基板との正確な位置合わせを確実にするため、一つあるいは二つ以上の干渉計３４、３５は、それぞれの通路を有する複数のビーム、すなわち光学軸の移動に応じて変化する複数のビーム長さを使用する。 - 特許庁
  • This light wavelength meter of the present invention allows an input light signal to be output as a different output with a different wavelength, by using characteristics of a wide wavelength range and low sensitivity and a narrow wavelength range and high sensitivity respectively in two interferometers.
    本発明の光波長計は、２個の干渉器がそれぞれに大波長範囲低敏感度と、小波長範囲高敏感度の特性を利用することで、入力された光信号は、異なる波長により異なる出力することが可能となる。 - 特許庁
  • A control circuit is triggered with signals detected by position detection switches 22 to 24 to read the measured values of the laser interferometers 18 to 20, stores the measured values (x), (y) and θ to a memory, and performs an operation for obtaining the real origin position.
    制御回路は、位置検出スイッチ２２〜２４により検出された信号をトリガにしてレーザ干渉計１８〜２０の計測値を読み込み、メモリに計測値ｘ，ｙ，θを記憶すると共に、真の原点位置を求めるための演算を行なう。 - 特許庁
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