「interferometers」を含む例文一覧(120)
＜前へ 1 2 3- The aligner includes a coarse adjustment stage 2, the fine adjustment stage 1, first members 7a and 7b provided with a first reflection surface 66 for reflecting measurement light, second members 8a and 8b provided with a second reflection surface for reflecting reference light, and interferometers 9a and 9b.
露光装置は、粗動ステージ２と、微動ステージ１と、計測光を反射する第１反射面６６を有する第１部材７ａ，７ｂと、参照光を反射する第２反射面を有する第２部材８ａ，８ｂと、干渉計９ａ，９ｂと、を備える。 - 特許庁 - The value of the voltage applied to one arm 130b is switched for intervals of τ/2 being a half of a symbol interval τ, whereby signal components which have been extracted conventionally by two delay interferometers alternately appear in an output of the delay interferometer 130 for intervals of τ/2.
一方のアーム１３０ｂに印加される電圧の値をシンボル間隔τの半分のτ／２毎に切り替えることによって、従来の２つの遅延干渉計で抽出された信号成分が、遅延干渉計１３０の出力にτ／２毎に交互に現れる。 - 特許庁 - The contrast of the interference fringe on the rough face is improved by inclination incidence, and the parallelism and the flatness of the opaque sample having the coarse face are measured concurrently in a second unit of time, by providing the inclination incidence interferometers respectively on the obverse and reverse faces.
斜入射にすることで粗面における干渉縞のコントラストを良くし、かつ、斜入射干渉計を表裏それぞれに設置することで、不透明な粗面試料の平行度及び平面度測定を同時に秒単位で行うことが可能である。 - 特許庁 - To provide a versatile interferometer and a light source device without generating a fluctuation of a Moire fringe caused by a heat generation of a laser, without complicated adjustment at the time of a fault of the laser light source or at the exchange by an end of service life, and at the same time capable of utilizing various interferometers.
レーザからの発生熱による干渉縞のゆらぎが発生せず、また光源であるレーザの故障や寿命による交換時に複雑な調整を必要とせず、同時に各種波長のレーザをも使用可能とする汎用性のある干渉計装置及びその光源装置を得ること。 - 特許庁 - The controller 8 controls the linear motor (Y axis) 5 based on the positional data of the stage 1 in the X axis direction detected by the laser interferometers 7a, 7b such that when the linear motor (X axis) 4 drives the stage 1 in the X axis direction, force in the Y axis direction caused by the linear motor (X axis) 4 is cancelled.
制御部８は、レーザー干渉計７a,７bで検出したＸ軸方向でのステージ１の位置情報に基づいて、リニアモータ(X軸)４がステージ１をＸ軸方向に駆動するときにリニアモータ(X軸)４によってＹ軸方向に生じる力を打ち消すようにリニアモータ(Y軸)５を制御する。 - 特許庁 - According to waveform data indicating frequency variations in the laser beams L3 detected by interferometers 50a and 50b, a computer 70 computes a propagation time of each ultrasonic wave generated in each progress direction, and computes a horizontal distance between the generation position and detection position of each ultrasonic wave.
コンピュータ７０は干渉計５０ａ，５０ｂで検出されたレーザビームＬ３の周波数変化を表す波形データに基づき各進行方向に発生した各超音波の伝播時間を求めると共に、各超音波について発生位置・検出位置の間の水平距離を求める。 - 特許庁 - The method for adjusting the phase of a plane light wave circuit type delay demodulation device provided with Mach-Zehnder interferometers (MZIs) 4, 5 to which a DQPSK (Differential Quadrature Phase Shift Keying) signal is input and heaters A to H formed on each-two arm waveguides 8, 9, 12, 13 of respective MZIs 4, 5 to demodulate the DQPSK signal includes the following steps.
DQPSK信号が入力されるマッハツェンダー干渉計（MZI）４，５と、各MZIの２つのアーム導波路８，９，１２，１３上に形成されたヒータA〜Hと、を備え、DQPSK信号を復調させる平面光波回路型の遅延復調デバイスの位相調整方法は、以下のステップを含む。 - 特許庁 - Spacing maps of single side faces between a side face 61 or 62 of the wafer 60 and a reference plane 32 or 52 corresponding respectively thereto are measured at the same time, using combination of two improved phase shift Fizeau interferometers 20, 40, and computers 38, 58 calculates the thickness variation and the shape, based on data therein.
改良された二つの位相シフトフィゾ（Fizeau）干渉計２０、４０の組み合わせを用いて、ウエーハ６０の側面６１又は６２の各々とそれに対応する基準平面３２又は５２の間の単一側面の間隔マップを同時に計測し、コンピュータ３８、５８でこれらのデータから厚さ変化と形状を計算する。 - 特許庁 - The musical instrument constitutes a plurality of strings within one optical fiber loop with a system formed with the optical loop interferometers and is so constituted that the differences in the frequencies of the standing waves generated when the optical fibers of the strings are excited are reproduced as sounds by varying the lengths or diameters of the optical fibers of the strings or the tensile force thereof.
光ループ干渉計を形成した系で、一つの光ファイバループ内に複数の弦を構成し、その弦の光ファイバの長さ又は径を、あるいは引張力を異にすることによって、弦の光ファイバを加振した際に発生する定在波の周波数の違いを音として再生するようにした楽器である。 - 特許庁 - Each first laser length measuring system includes laser light sources 31a, 31b, bar mirrors 34a, 34b mounted under an X-stage 14 of each moving stage, and laser interferometers 32a, 32b placed at a position out of an X guide 13 of the main stage base 11, and detects a position in the X direction of each moving stage.
各第１のレーザー測長系は、レーザー光源３１ａ，３１ｂと、各移動ステージのＸステージ１４の下に取り付けられたバーミラー３４ａ，３４ｂと、主ステージベース１１のＸガイド１３から外れた位置に設置されたレーザー干渉計３２ａ，３２ｂとを有し、各移動ステージのＸ方向の位置を検出する。 - 特許庁 - To provide an optical interference type phase sensing device capable of detecting a phase with high-stability and high-precision, by using two reference light in addition to measurement light and then detecting variation in a phase caused from relative variations in an optical path length between two interferometers to eliminate the variations in the phase.
測定光とは別に２つの参照光を用いて、干渉計の２つの光路間の相対的な光路長変動に起因して生じる位相変動を検出し、その位相変動を除去することによって、高安定・高精度の位相検出を可能にした光干渉型位相検出装置を提供する。 - 特許庁 - A signal which has been extracted conventionally by using two delay interferometers can be extracted by one delay interferometer 130 by periodically changing a voltage value of an electric signal Vc(t) applied to one arm 130b of the delay interferometer 130 to periodically change a phase of light to π/4 and -π/4.
遅延干渉計１３０の一方のアーム１３０ｂに印加される電気信号Ｖｃ（ｔ）の電圧の値を周期的に変化させ、光の位相をπ／４と−π／４と周期的に変化させることにより、従来２つの遅延干渉計を用いて抽出してきた信号を、１つの遅延干渉計１３０で抽出できるようにする。 - 特許庁 - This XY stage for two-dimensionally position-controlling the quadrilateral slider parts on the quadrilateral platen, is equipped with the bar mirrors provided on at least three sides out of the four sides of each of the slider parts and a plurality of laser interferometers fixedly disposed along at least two sides out of the four sides of the platen for receiving reflected light of laser beams applied to the bar mirrors.
四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、 前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、 前記プラテンの四辺の少なくとも二辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、を備える。 - 特許庁 - In this shape measuring instrument for measuring a shape of a sample W, for example, using a shape measuring means constituted of interferometers 1, 2, inclinations of both faces of the sample W are measured twice while changing an angle position relation between the sample W and the shape measuring means, and a calibration data is calculated based on a measured result therein.
例えば干渉計１，２から構成される形状測定手段を用いて試料Ｗの形状を測定する形状測定装置Ａにおいて，試料Ｗと形状測定手段との角度位置関係を変えて試料Ｗの両面の傾きを２度測定し，その測定結果を用いて形状測定装置Ａの校正用データを算出する。 - 特許庁 - In other words, by applying a required arithmetic processing to the XY coordinate of a mounting stand 82a obtained using laser interferometers 83d and 83e and the Z coordinate of the stylus 11 obtained using a laser interferometer 91b while they are associated with each other by a controller 99, the three-dimensional surface shape of the optical surface of the optical element OE can be measured.
つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。 - 特許庁 - Systems 100, 200 for measuring a displacement along the first axis include a device 102 movable at least along the second axis vertical to the first axis, the measuring mirrors 110, 210 attached to the device at an angle larger than 0° with respect to the first axis, and interferometers 101, 201 provided with a beam splitter 106.
第１の軸に沿った変位を測定するシステム（１００，２００）であって、少なくとも前記第１の軸に対して垂直な第２の軸に沿って移動可能な装置（１０２）と、前記第１の軸に対して０°よりも大きな角度で前記装置に取り付けられた測定ミラー（１１０，２１０）と、ビームスプリッタ（１０６）を備えた干渉計（１０１，２１０）とを含むシステム。 - 特許庁 - First and second multi-mode interferometers 72A and 72B constituted by forming nonlinear gain areas 71a and 71b on two arms 71A and 71B of a Mach-Zehnder optical interferometer at shifted positions and coupling the arms with each other are provided with mirrors 73A and 73B at one light input/output port to form an optical cavity.
マッハツェンダ型光干渉計の２本のアーム７１Ａ，７１Ｂのそれぞれに、位置をずらして非線形利得領域７１ａ，７１ｂを形成し、さらに前記２本のアームを結合する第１および第２のマルチモード干渉計７２Ａ，７２Ｂそれぞれにおいて、一つの光入出力ポートにミラー７３Ａ、７３Ｂを設け、光キャビティを形成する。 - 特許庁 - This planar optical interference circuit is adapted such that the polarized state of light propagated in a long-sized arm waveguide and output from an interferometer, and the polarized state of light propagated in a short-sized arm and output from the interferometer, are the same by arranging a polarization coupling induction part for generating polarized coupled light in at least one of the long-sized arm waveguide and the short-sized arm waveguide constituting N interferometers.
本発明の平面型光干渉回路では、偏波結合光を発生させる偏波結合誘起部分を、Ｎ個のそれぞれの干渉計を構成する長尺アーム導波路と短尺アーム導波路の少なくとも一方に配置することにより、長尺アーム導波路を伝搬し干渉計から出力される光の偏波状態と、短尺アームを伝搬し干渉計から出力される光の偏波状態が同一になるようにする。 - 特許庁 - This system for measuring optical characteristic of an object to be optically measured (DUT) 104 comprises a light source 112 for generating a light signal applied to the optical DUT 104, a reference interferometer 106, a test interferometer 108 connected with the light source 112 optically, and a computing device 110 connected with the interferometers to assist the determination of optical characteristic of the optical DUT by utilizing amplitude and phase computing component.
本発明は、光学被測定物（ＤＵＴ）（１０４）の光学特性を測定するためのシステムであって、前記光学ＤＵＴ（１０４）に加えられる光信号を発生するための光源（１１２）と、基準干渉計（１０６）、及び、光源（１１２）に光学的に結合されたテスト干渉計（１０８）と、干渉計に結合され、振幅及び位相計算コンポーネントを利用して、光学ＤＵＴの光学特性の判定を助ける計算装置（１１０）が含まれる、システムを提供する。 - 特許庁 - In this case, the switching means is equipped with detecting means 115 and 133 to 135, which detect whether the stages passed through prescribed positions where a switching operation should be carried out in a second direction, and the laser interferometers are switched from one to another based on these detected signals.
第１の方向およびこれに直交する第２の方向に移動可能なステージ１０３、１０６と、ステージの第１の方向の位置を計測するため、ステージの第２の方向の位置に応じて有効なものが切り換えて用いられる複数のレーザ干渉計１１１、１３０〜１３２と、前記レーザ干渉計の切換を行なう切換手段とを備えたステージ装置において、切換手段はステージが切換を行なうべき第２の方向における所定の切換位置を通過したことを検出する検出手段１１５、１３３〜１３５を備え、この検出信号に基づいてレーザ干渉計の切換を行なうものとする。 - 特許庁
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