「layer pattern」を含む例文一覧(8592)
＜前へ 1 2 .... 75 76 77 78 79 80 81 82 83 .... 171 172 次へ＞- A manufacturing method of a printed circuit board includes a step of forming an electroless plating layer on an insulating layer and a step of forming a circuit pattern by applying conductive ink on the electroless plating layer by making use of an ink jet system.
本発明による印刷回路基板の製造方法は、絶縁層に無電解メッキ層を形成する工程と、無電解メッキ層にインクジェット方式で導電性インクを塗布して回路パターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする。 - 特許庁 - The elastic film 440 comprised of polyimide includes an insulating film, formed by a base film and a metal layer formed on the insulating film, and a bonding layer containing tin is formed on the circuit pattern by etching the metal layer.
ポリイミドなどからなる軟性フィルム４４０はベースフィルムで形成される絶縁フィルム、及び絶縁フィルム上に形成される金属層を含み、金属層をエッチングすることにより形成された回路パターン上にスズを含む接合層が形成されている。 - 特許庁 - To provide an antireflective antidazzle film with high display quality having an antidazzle layer having a surface rugged pattern and an antireflection layer thereon and in which the antireflection layer can be easily manufactured by an easy method.
表面凹凸形状を有する防眩層、さらにその上に反射防止層を有する表示品位の高い反射防止防眩フィルムであって、当該反射防止層を簡易な方法によっても製造できる反射防止防眩フィルムを提供すること。 - 特許庁 - The aluminum foil is adhered on the surface of the resin film substrate 11 using a polyurethane adhesive layer 12, and the circuit pattern layer 13 is formed by etching the aluminum foil using a resist ink layer as a mask.
樹脂フィルム基材１１の表面の上に、エポキシ樹脂を含有するポリウレタン系接着剤層１２を用いてアルミニウム箔を固着し、レジストインク層をマスクとして用いてアルミニウム箔をエッチングすることによって回路パターン層１３を形成する。 - 特許庁 - Then a conductive layer 58 is formed on an insulating layer 57, which seals signal and grounding patterns 41 and 42, and a low-resistance large-capacity grounding electrical path 39 is formed by connecting the grounding pattern 42 to the grounding bump 56 through the conductive layer 58.
信号／接地パターン４１，４２を封入する絶縁層５７上に導電層５８を形成し、この導電層５８で接地パターン４２と接地バンプ５６とを接続することで、低抵抗かつ大容量の接地電路３９を形成する。 - 特許庁 - The method for manufacturing the color filter has steps of arranging a coloring resin on a substrate and to form a coloring resin layer; of draw-exposing the coloring resin layer by using a laser beam and to expose it with a predetermined pattern; and to develop the coloring resin layer.
着色樹脂を基体に設け着色樹脂層を形成する工程と、該着色樹脂層にレーザー光を用いて描画露光し、所定のパターンを感光させる工程と、該着色樹脂層を現像する工程とを有すること。 - 特許庁 - The pattern having an inclined side wall in its sectional shape is formed by controlling light exposure in the plane direction in a part of a photosensitive layer to be exposed or the direction of blowing of a developer on the exposed photosensitive layer when the photosensitive layer is exposed and developed.
感光層の露光、現像に伴って、露光部における面方向の露光量又は露光した感光層に対する現像剤の噴出方向をコントロールすることにより、断面形状において傾斜した側壁を有するパターンを形成する。 - 特許庁 - Each transparent electrode layer 2 is arranged inside the groove 8, and the organic material layer 3 is formed on the transparent substrate 1 as it is laminated on the transparent electrode layer 2 in the groove 8, in a single pattern as seen from a side where each groove 8 is formed.
透明電極層２は溝８の内部に配置され、有機材料層３は一部が溝８内の透明電極層２に積層されつつ透明基板１の上に、溝８が形成された面側から見て単一のパターンで形成されている。 - 特許庁 - First, a transparent substrate 5 having a transparent electrode layer 6 thereon is prepared, and an insulation layer 10 of a first pattern, in which a light emission area R and a first terminal part 3 are excluded and a second terminal part 4 is included, is formed on the transparent electrode layer 6.
まず、透明電極層６が形成された透明基板５を準備し、この透明電極層６上に発光領域Ｒと第１端子部３を除き且つ第２端子部４を含む第１のパターンの絶縁層１０を形成する。 - 特許庁 - The intermediate layer of a circuit board 10 is a beta-ground layer almost on whose whole face a ground pattern is formed, and signal lines D+ and D- connecting a USB connector 2 and a DSP 3 mounted on the surface layer of the circuit board 10 are formed.
回路基板１０の中間層は、グラウンドパターンを略一面に形成したベタグラウンド層であり、回路基板１０の表面層に取り付けたＵＳＢコネクタ２、およびＤＳＰ３とを接続する信号線Ｄ＋、Ｄ−を形成している。 - 特許庁 - An insulative protection layer 6 is potted in an area excluding the earth pattern 5 of the substrate 1, the circuit element 3 and semiconductor bare chip 4 are covered with the insulative protection layer 6, and the upper surface of the insulative protection layer 6 is flattened by a press, etc.
この基板１のアースパターン５を除く領域に絶縁性保護層６をポッティングし、絶縁性保護層６によって回路素子３と半導体ベアチップ４を覆うと共に、絶縁性保護層６の上面をプレス等で平坦化処理する。 - 特許庁 - A translucent conductive substrate comprises a thinning pattern formed of a conductive metal containing developing silver and a transparent conductive layer on a support, and an easy adhesion layer having a swelling humidity ratio to water of less than 60% between the support and the thinning pattern.
支持体上に、現像銀を含む導電性金属からなる細線パターンと、透明導電性層とを有し、支持体と該細線パターンとの間に、水に対する膨湿率が６０％未満である易接着層を有することを特徴とする、透光性導電性基材。 - 特許庁 - In the decorative film 1 which has a pattern layer on a base material film which is formed from a resin containing 70-100% of a polyacrylonitrile, is set in an injection molding mold so that the pattern layer side is adhered integrally to a molding, and can be drawn deeply.
基材フィルム上に図柄層を有し、射出成形用金型内にセットされて図柄層側と成形品とが一体化接着される加飾用フィルムであって、基材フィルムがポリアクリロニトリル樹脂を７０％〜１００％含む樹脂からなる深絞り可能な加飾用フィルム１である。 - 特許庁 - The antenna system 1 is provided with: an antenna board 21 comprising a separator 23, and solid-state electrolytic layers 24a, 24b formed on both sides of the separator 23; an antenna pattern 22a formed on the solid-state electrolytic layer 24a; and an antenna pattern 22b formed on the solid-state electrolytic layer 24b.
アンテナ装置１は、セパレータ２３およびこのセパレータ２３の両側に形成された固体電解質層２４ａ，２４ｂとからなるアンテナ基板２１と、固体電解質２４ａ上に形成されたアンテナパターン２２ａと、固体電解質層２４ｂ上に形成されたアンテナパターン２２ｂとを備える。 - 特許庁 - A plane layer 2 in an adjacent region (B) under a forming region of a wiring pattern (T) 6 for measurement is so patterned that the percentage of residual copper matches that of the plane layer 2 in an adjacent region (A) under a forming region of a signal wiring pattern (S) 1 of a measuring object.
測定用配線パターン（Ｔ）６の形成領域下の近傍領域（Ｂ）におけるプレーン層２は、その残銅率が、測定対象の信号配線パターン（Ｓ）１の形成領域下の近傍領域（Ａ）におけるプレーン層２の残銅率と合うようにパターニングされている。 - 特許庁 - To provide a stably manufacturable decorating sheet with which inferiority of printing wherein a printing ink draws a line is not generated when a picture pattern ink layer is formed on a surface base sheet comprising an acrylic resin and in addition, variability with time and the like are not generated when the picture pattern ink layer is formed.
アクリル樹脂からなる表面基材シートに絵柄インキ層を形成する際、印刷インキが筋を引くという印刷不良が発生せず、しかも絵柄インキ層を形成する際に、経時的なバラツキ等が生ぜず、安定した製造が可能である加飾シートを提供する。 - 特許庁 - Therefore, a distance between the conductors in a pattern of the lower-layer conductors 3' and in a pattern of the upper-layer conductors 55, which the separate conductor layers have, is larger, compared with that in the case when the conductors connected to the electrodes in a plurality are provided on the same plane.
よって、上記複数の電極に接続された配線が同一面上に設置された場合と比べて、それぞれの配線レイヤーが有する下層配線３’のパターンにおける配線間の距離、及び、上層配線５５のパターンにおける配線間の距離が大きくなる。 - 特許庁 - This fishing tool is equipped with a member body 4 formed in a prescribed shape and a pattern layer 6 formed on the member body 4 and a plurality of brilliant particles 10 in which coloring layers 8 having light transmission properties are formed on the external surface are uniformly arranged in desired density in the pattern layer 6.
所定形状に形成された部材本体４と、この部材本体４上に形成された模様層６とを備えており、模様層６には、外面に透光性を有する着色層８が形成された複数の光輝性粒子１０が所望の密度で且つ均一に配置されている。 - 特許庁 - A target material detection element, which is an element used for detecting the target material in a specimen by utilizing plasmon resonance, is manufactured by providing a metal pattern layer on an underlayer having a similar refractive index to water, and by immobilizing a target material capturing body on the metal pattern layer.
検体中の標的物質を、プラズモン共鳴法を利用して検出するために用いられる素子であって、水と同等の屈折率を有する下地層上に金属パターン層を設け、金属パターン層に標的物質捕捉体を固定して標的物質検出素子を作製する。 - 特許庁 - Subsequently, a resist film 110 composed of a chemically amplified resist material is formed on the low permittivity insulating film 101 on which the first molecular layer 105 and the second molecular layer 109 are formed and the resist film 110 is subjected to pattern exposure and development, thus forming a resist pattern.
次に、第１の分子層１０５及び第２の分子層１０９が形成されている低誘電率絶縁膜１０１の上に化学増幅型レジスト材料よりなるレジスト膜１１０を形成し、該レジスト膜１１０に対してパターン露光及び現像を行なって、レジストパターンを形成する。 - 特許庁 - The pattern of the lower wiring layer Ma of the monitor mark formation region and a pattern of wiring trenches TRb (or upper wiring layer Mb) include repetitive patterns, respectively, in a rectangular region R having a breadth of 3 μm-100 μm and extend in the same direction parallel with each other.
モニター用マーク形成領域の下層配線層Ｍａのパターンと配線溝ＴＲｂ（または上層配線層Ｍｂ）のパターンとは３μｍ〜１００μｍ□の広さを有する矩形領域Ｒ内において、繰り返しパターンを有しており、かつ互いに同じ方向に平行に延びている。 - 特許庁 - The shot magnification etc., of an exposure system 21 is corrected by measuring the superimposing accuracy between the lower-layer pattern and an upper-layer pattern in a chip area, by measuring the patterns by using an evaluation device 11 utilizing a substrate current signal induced when an electron beam is projected upon an overlay mark.
重ね合わせマークに電子ビームを照射したときに誘起される基板電流信号を利用した評価装置１１を用いて、チップエリアの下層パターンと上層パターンを測定することで重ね合わせ精度を測定し、露光装置２１のショット倍率等を補正する。 - 特許庁 - To provide a multilayer printed wiring board which allows for electrical inspection of whether or not the deviation of an inner layer pattern from an interlayer connection via falls within an allowable range, with a small number of detection units, without having an impact on the finish state of the inner layer pattern by etching.
少ない検出部で、エッチング加工による内層パターンの仕上り状態に影響を受けることなく層間接続用ビアに対する内層パターンずれが、許容範囲内であるか否かを電気的に検査することが可能な多層プリント配線板を提供することを目的とする。 - 特許庁 - Thereafter, on the surfaces of a metal support substrate 2, a base insulating layer 3 and the conductor pattern 4, a semiconductive layer 5 composed of an oxidized metal is formed by sputtering from the upper part in the thickness direction of the conductor pattern 4 so as to form a cut 10 at the side etching part 9.
その後、金属支持基板２の表面、ベース絶縁層３の表面および導体パターン４の表面に、導体パターン４の厚み方向上方からのスパッタリングにより、酸化金属からなる半導電性層５を、サイドエッチング部分９に切り目１０が形成されるように、形成する。 - 特許庁 - In other words, the thick film electrode 210 is arranged from the mid part of the side wall 202a of the piezoelectric/electrostriction layer 202 over the first wiring pattern 208A, and a third wiring pattern 208C is formed at a part including a second piezoelectric/electrostriction layer 202B and the thick film electrode 210.
すなわち、圧電／電歪層２０２の側壁２０２ａの途中から第１の配線パターン２０８Ａ上にかけて厚膜電極２１０が配置され、２層目の圧電／電歪層２０２Ｂと厚膜電極２１０とを含む部分に第３の配線パターン２０８Ｃが形成されている。 - 特許庁 - To provide a thermal recording sheet which can achieve both the gloss of a printing pattern and the shrinkage preventing properties of the printing pattern due to sticking, by adding high glossiness and good thermal head slippage to the transparent protective layer on a thermal recording layer in addition to surface protective performance.
感熱記録層上の透明保護層に対して、表面保護性能に加えて、高光沢度と良好なサーマルヘッド滑り性をも付与すること、それによって、印字パターンの光沢、及びスティッキングによる印字パターンの縮小防止性とを両立させた感熱記録シートを提供すること。 - 特許庁 - Since longitudinal tensile force due to deformation is provided to the fuse part 2a with the copper alloy-plated layer 4 formed, the conductive pattern 2 is instantaneously cut off when the copper alloy-plated layer 4 is melted and copper foil is eroded, whereby the whole conductive pattern 2 can be prevented from being overheated.
また、銅合金メッキ層４が形成されたヒューズ部位２ａに、変形による長手方向での張力が付与されるため、銅合金メッキ層４が溶融して銅箔を浸食すると、瞬時に導電パターン２が切断され、導電パターン２全体の過熱化を防止することができる。 - 特許庁 - To provide a resist lower layer film forming composition capable of forming a resist lower layer film capable of transferring a resist pattern with satisfactory fidelity and reproducibility to a substrate to be processed because the composition has a film curing property, superior etching resistance, and because the pattern formed by a dry etching process is hardly bent.
膜硬化性を有し、エッチング耐性に優れ、更に、ドライエッチングプロセスによって形成したパターンが折れ曲がり難いため、レジストパターンを忠実に再現性よく被加工基板に転写することが可能なレジスト下層膜を形成することができるレジスト下層膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁 - An end of the first extended portion 30 of the current blocking layer 32 terminates at a position closer to a central side without reaching the outer fine-line pattern 37, and the second extended portion 31 of the current blocking layer 32 is extendedly formed up to a lower portion of the conductor of the outer fine-line pattern 37.
そして、前記電流阻止層の第１の延長部３０は、前記電極層の外郭細線パターン３７よりも中央側において終端し、前記電流阻止層の第２の延長部３１は、前記電極層の外郭細線パターン３７導体下部にまで延長形成されている。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a circuit board capable of forming a circuit of fine pattern by improving etching characteristic of a copper layer or copper foil, as well as a laminate of an insulating substrate and a copper layer or a copper foil for a wiring board which is suitable for fine pattern, along with a printed wiring board using the same.
ファインピッチ化に適した配線板用銅箔又は銅層と絶縁基板との積層体及びそれを用いたプリント配線板、さらには、銅箔または銅層のエッチング性を向上させてファインパターンの回路を形成することができる回路基板の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The planar antenna 100 includes a substrate 101 including a radio wave absorber layer, an antenna pattern 103 installed at the center of one surface of the substrate 101, and a conductor layer 109 formed with a gap 102 from the circumferential edge of the antenna pattern 103.
電波吸収体層で構成された基板１０１と、前記基板１０１の一方の面の中央に設置されるアンテナパターン１０３と、前記アンテナパターン１０３の周縁との間に間隙１０２をあけて形成される導体層１０９とから構成される平面アンテナ１００である。 - 特許庁 - To provide a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding window material having a mesh metal conductive layer, in which the mesh pattern by conductive ink can be made thinner without causing distortion of the pattern or unevenness in line width or layer thickness.
メッシュ状の金属導電層を有する光透過性電磁波シールド性窓材を製造する方法であって、パターンの歪みや、線幅や層厚の不均一を生じることなく、導電性インクの印刷によるメッシュ状パターンをさらに細線化ができる製造方法を提供すること。 - 特許庁 - This manufacturing method of the temperature sensor element comprising a thermocouple formed by bonding two kinds of different materials is characterized by using a transfer sheet wherein a thermocouple pattern layer is formed on a support sheet, laminating the thermocouple pattern layer on a substrate, and performing thereafter heat treatment.
２種の異なる材料が接合されてなる熱電対からなる温度センサ素子の製造方法であって、熱電対パターン層が支持シート上に形成された転写シートを用い、当該熱電対パターン層を基板上に積層した後、熱処理することを特徴とする製造方法に係る。 - 特許庁 - A photoresist layer used as a pattern for forming pattern wiring is partly masked and laser is applied to the photoresist layer positioned in gaps between contact pins 21a, thereby forming the buffer agent 26 made of the photoresist packed between adjoining contact pins 21a.
パターン配線を形成する際に型として用いられるフォトレジスト層に、コンタクトピン２１ａ同士の隙間に位置しているフォトレジスト層の一部にマスクを施してレーザを照射することにより、隣接するコンタクトピン２１ａ同士の隙間に充填されてフォトレジストからなる緩衝剤２６を形成する。 - 特許庁 - The decorative sheet is constituted by forming a pattern layer on a base material sheet and characterized in that (a) the pattern layer is formed from an aqueous composition comprising a quinacridone red pigment and (b) the average primary particle size of the quinacridone red pigment is 250 nm or below.
基材シート上に絵柄模様層が形成されている化粧シートであって、（ａ）前記絵柄模様層が、キナクリドン系赤色顔料を含む水性組成物により形成され、（ｂ）前記キナクリドン系赤色顔料の平均一次粒径が２５０ｎｍ以下であることを特徴とする化粧シート。 - 特許庁 - The liquid crystal aberration correction device 4 corrects wave aberration of a light beam advancing to the objective lens, and has a liquid crystal molecule layer 24, a first electrode pattern 41-45 arranged on one surface of the liquid crystal molecule layer and a second electrode pattern arranged on the other surface thereof.
対物レンズに向かう光線の波面収差を補正する液晶収差補正装置４であって、液晶分子層２４と、液晶分子層の一方の面に備えられた第１の電極パターン４１〜４５と、他方の面に備えられた第２の電極パターンとを有する。 - 特許庁 - The exposure mask comprising a first layer portion 13 provided with an opening pattern 13a and a second layer portion 14 provided with an opening pattern 14a which are laminated, wherein the opening patterns 13a and 14a are disposed in a state of partly intersecting with each other.
開口パターン１３ａが設けられた第１層部分１３と、開口パター１４ａが設けられた第２層部分１４とを積層してなる基板１２を備えた露光マスク１０であり、開口パターン１３ａと開口パターン１４ａとは、部分的に交差させた状態で配置されている。 - 特許庁 - After a metallic layer 8a, which constitutes a part of a foundation metal BLM for a CCB bump, is processed by using a resist pattern 13 as a mask, a hydrophobic fluoride layer 12 is formed by plasma processing using fluorine gas in a surface of a PIQ film 9b while leaving the resist pattern 13.
ＣＣＢバンプ用の下地金属ＢＬＭの一部を構成する金属層８ａをレジストパターン１３をマスクとして加工した後、レジストパターン１３を残したままＰＩＱ膜９ｂの表面にフッ素系ガスを用いたプラズマ処理によって、疎水性のフッ化物層１２を形成する。 - 特許庁 - A photosensitive adhesive forms an adhesive layer comprising the photosensitive adhesive on a body to be stuck, the adhesive layer is exposed and developed to form an adhesive pattern, and another body to be stuck is stuck to the body to be stuck through the adhesive pattern.
当該感光性接着剤からなる接着剤層を被着体上に形成し、接着剤層を露光及び現像することにより接着剤パターンが形成され、接着剤パターンを介して被着体に他の被着体を接着することが可能である、感光性接着剤。 - 特許庁 - A second metal layer 40 has a ground pattern electrically connected to the ground electrode pad 4b via the ground contact section 32 and a signal pattern electrically connected to the signal electrode pads 4a and 4c via the signal contact section, and is formed on the second insulating layer 30.
第２金属層４０は、接地接触部３２を介して接地電極パッド４ｃと電気的に連結される接地パターン、信号接触部を介して信号電極パッド４ａ、４ｃと電気的に連結される信号パターンを有し、第２絶縁層３０上に形成されている。 - 特許庁 - To provide a dry etching method processing an etching object layer into a shape of a desired rugged pattern with a high precision, a magnetic recording medium manufacturing method utilizing the same, and a magnetic recording medium which has a recording layer formed into a rugged pattern and allows good magnetic characteristics to be surely obtained.
被エッチング層を所望の凹凸パターンの形状に高精度で加工できるドライエッチング方法、これを利用した磁気記録媒体の製造方法及び記録層が凹凸パターンで形成され、良好な磁気特性が確実に得られる磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁 - The resist pattern is removed, and plating process for a conductive film is performed for the surface of the insulation layer to form a second conductive pattern, and further the via hole in which a conductive plating film is formed in the thickness direction of the insulation layer is formed as a feed via in the porous region.
レジストパターンを除去し、絶縁層の表面に対し導電膜のめっき処理を行なうことで第２の導電パターンを形成するとともに、多孔質領域に絶縁層の厚さ方向に導導めっき膜を形成したバイアホールをフィードビアとして形成する。 - 特許庁 - The optical filter for the display apparatus includes a background layer which is stratified, a color shift reducing pattern which is formed on the background layer with predetermined thickness and a light reflecting patch which is formed behind the color shift reducing pattern and reflects light backward.
ディスプレイ装置用光学フィルターであって、層をなすバックグラウンド層と、上記バックグラウンド層に所定の厚さにて形成されるカラーシフト低減パターンと、上記カラーシフト低減パターンの後方に形成され、光を後方に反射する光反射パッチと、を含んでなることを特徴とする。 - 特許庁 - In the antenna circuit device 1 for which an antenna circuit pattern 3 is formed on at least one surface of a base material 2, the antenna circuit pattern 3 is formed by laminating a metal plating layer 4b by electroless plating on a development silver layer 4a generated by a photography process.
基材２の少なくとも一方の面にアンテナ回路パターン３が形成されたアンテナ回路装置１において、写真製法により現像銀層４ａを生成したその上に、無電解メッキにより金属メッキ層４ｂを積層してアンテナ回路パターン３を形成する。 - 特許庁 - After primary exposure by using the first mask layer, abnormal exposure in the primary exposure induced by misalignment and registration of a halftone film and a light shielding film can be corrected by secondary exposure by using the second mask layer comprising the binary pattern and the halftone pattern.
バイナリパターンとハーフトーンパターンで構成された第２マスクレイヤを使用することで、第１マスクレイヤを使用して１次露光した後、ハーフトーン膜と遮光膜の誤整列及びレジストレーションによって誘発される１次露光の異常露光を２次露光で補正することができる。 - 特許庁 - In the manufacturing method for a light-emitting device, the material layer on a first substrate as a substrate used for evaporation is pattern-formed by irradiating first light, and the pattern-formed material layer can be evaporated on a second substrate as a deposited substrate by irradiating second light.
第１の光を照射することにより、蒸着用基板である第１の基板上の材料層をパターン形成し、第２の光を照射することにより、パターン形成した材料層を被成膜基板である第２の基板上に蒸着させることができる発光装置の作製方法である。 - 特許庁 - The semiconductor device according to a claim 1 includes a conductive metal layer pattern having a semiconductor element mounted and sealed with a sealing material, wherein the conductive metal layer pattern is partly protruded and exposed in a thickness direction on the side opposite to the semiconductor device mounting surface.
半導体素子が搭載されている導電性金属層パターンを含み、これらが封止材により封止されている半導体装置において、半導体素子搭載面と反対側で導電性金属層パターンが厚さ方向で一部突出して露出している半導体装置。 - 特許庁 - In the method for manufacturing temperature sensor elements each made of a thermocouple formed by joining two types of different materials to each other, a hook type pattern layer 1 and a hook type pattern layer 2 are formed by directly overlying a substrate 3 by screen printing in such a way that one may be overlaid on the other and then thermally treated.
２種の異なる材料が接合されてなる熱電対からなる温度センサ素子の製造方法であって、かぎ型パターン層１およびかぎ型パターン層２を重ね合うようにスクリーン印刷により直接基板３上に積層形成した後、熱処理する。 - 特許庁 - By utilizing the fact that a pattern-preparing film 34a on the sidewall of an opening 32 is fragile, as compared to the pattern-preparing film 34a on an anneal-protecting film 24, a second patterning layer 38 that covers a region 30 is formed, while forming a trough 36 to contact a first patterning layer 26.
開口部３２の側壁のパターン準備膜３４ａがアニール保護膜２４上のパターン準備膜３４ａより脆弱になっていることを利用して、第１のパターン層２６に谷部３６を形成して接するとともに領域３０上を被覆する第２のパターン層３８を形成する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a transfer mask, a transfer mask and an exposure method by the use of a photoresist which is free from partial peeling and cracks even if the film thickness of the resist pattern is increased when a support layer opening is formed by forming the resist pattern by the use of the photoresist on the silicon support layer.
シリコン支持層にフォトレジストにてレジストパターンを形成して支持層開口部を形成する際、レジストパターンの膜厚を厚くしても部分剥離、亀裂等が発生しないフォトレジストを用いた転写マスクの製造方法、転写マスク及び露光方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
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