To provide a pattern formation method and a pattern formation system capable of manufacturing wiring or electronic circuits or the like with good efficiency and at high volume, and to provide an electronic device manufactured according to the pattern formation method and pattern formation system. 配線又は電子回路などについて、効率よく大量に製造できるパターン形成方法、パターン形成システムおよび電子機器を提供する。 - 特許庁
To provide a resist pattern forming method capable of suppressing mixing with respect to a resist pattern forming method in which a dense pattern is formed in a lower layer and a pattern is formed in an upper layer. 下層に密パターンを形成し、上層にパターンを形成するレジストパターンの形成方法において、ミキシングを抑制できるレジストパターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
MASK FOR TRANSFERRING CIRCUIT PATTERN, METHOD FOR FORMING MASK PATTERN, PROGRAM FOR FORMING MASK PATTERN, MASK PATTERN FORMING APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR DEVICE 回路パターン転写用マスク、マスクパターン作成方法、マスクパターン作成プログラム、マスクパターン作成装置、半導体装置製造方法および半導体装置製造装置 - 特許庁
To provide a method of forming resist pattern in which mixing can be suppressed with respect to a resist pattern forming method by which a dense pattern is formed in a lower layer and a pattern is formed in an upper layer. 下層に密パターンを形成し、上層にパターンを形成するレジストパターンの形成方法において、ミキシングを抑制できるレジストパターンの形成方法を提供する。 - 特許庁
METHOD FOR VERIFYING PATTERN DATA OF SEMICONDUCTOR DEVICE, PROGRAM FOR VERIFYING PATTERN DATA OF SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR CORRECTING PATTERN DATA OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PROGRAM FOR CORRECTING PATTERN DATA OF SEMICONDUCTOR DEVICE 半導体装置のパターンデータ検証方法、半導体装置のパターンデータ検証プログラム、半導体装置のパターンデータ補正方法、および半導体装置のパターンデータ補正プログラム - 特許庁
PATTERN FORMING DEVICE AND PATTERN FORMING METHOD AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY パターン成膜装置およびパターン成膜方法、並びに、有機電界発光表示装置 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE ELEMENT, METHOD FOR PRODUCING PHOSPHOR PATTERN USING THE SAME AND PHOSPHOR PATTERN 感光性エレメント、これを用いた蛍光体パターンの製造法及び蛍光体パターン - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR FORMING FUNCTIONAL PATTERN AND FUNCTIONAL PATTERN FORMING METHOD 機能性パターン形成用感光性樹脂組成物および機能性パターン形成方法 - 特許庁
NAPPED FABRIC HAVING THREE-DIMENSIONAL PATTERN AND METHOD FOR FORMING THREE-DIMENSIONAL PATTERN OF NAPPED FABRIC 立体模様を有する立毛布帛および立毛布帛の立体模様形成方法 - 特許庁
PATTERN RECOGNITION METHOD AND APPARATUS, PATTERN RECOGNITION PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM THEREOF パタン認識方法および装置ならびにパタン認識プログラムおよびその記録媒体 - 特許庁
DEVICE FOR CORRECTING MASK PATTERN, PROGRAM FOR CORRECTING MASK PATTERN, AND METHOD FOR MANUFACTURING EXPOSURE MASK マスクパターン補正装置、マスクパターン補正プログラムおよび露光用マスクの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING METAL FILM PATTERN, AND THIN-FILM TRANSISTOR HAVING METAL-FILM PATTERN 金属膜パターンの形成方法および金属膜パターンを備えた薄膜トランジスタパネル - 特許庁
PATTERN SUBSTRATE, ITS MANUFACTURING METHOD, FINE MOLD AND MAGNETIC RECORDING PATTERN MEDIUM パターン基板,パターン基板の製造方法、微細金型および磁気記録用パターン媒体 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING SUBSTRATE WITH Cu PATTERN AND SUBSTRATE WITH Cu PATTERN OBTAINED THEREBY Cuパターン付基板の製造方法及びそれにより得られるCuパターン付基板 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING STRUCTURE HAVING RUGGED PATTERN AND STRUCTURE HAVING RUGGED PATTERN 凹凸パターンを有する構造体の製造方法、凹凸パターンを有する構造体 - 特許庁
PATTERN DETECTION CIRCUIT, DATA RECEIVER, OPERATING METHOD FOR THE PATTERN DETECTION CIRCUIT AND PROGRAM パターン検出回路、データ受信装置、パターン検出回路の動作方法及びプログラム - 特許庁
BASIC FREQUENCY PATTERN GENERATION SYSTEM, BASIC FREQUENCY PATTERN GENERATION METHOD, AND PROGRAM 基本周波数パターン生成装置、基本周波数パターン生成方法及びプログラム - 特許庁
COATING AGENT FOR MAKING PATTERN FINE, AND METHOD OF FORMING FINE PATTERN USING THE SAME パターン微細化用被覆形成剤およびそれを用いた微細パターンの形成方法 - 特許庁
SURFACE-TREATING AGENT FOR PATTERN FORMATION AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE SURFACE-TREATING AGENT パターン形成用表面処理剤、及び該処理剤を用いたパターン形成方法 - 特許庁
INJECTION MOLDING METHOD FOR DEVELOPING GRAIN PATTERN OR MARBLE PATTERN AND MOLDED PRODUCT 木目模様またはマーブル模様を発現する射出成形方法および成形品 - 特許庁
SURFACE TREATING AGENT FOR PATTERN FORMATION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SURFACE-TREATING AGENT パターン形成用表面処理剤、及び該処理剤を用いたパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOCURABLE COMPOSITION FOR RESIN PATTERN FORMATION, AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME 樹脂パターン形成用光硬化性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
LAMINATE PATTERN AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, RIB FORMING MATERIAL AND GLASS RIB PATTERN 積層体パターン及びその製造方法、リブ形成材料並びにガラスリブパターン - 特許庁
METHOD FOR VERIFYING RESULT OF MASK PATTERN CORRECTION, AND APPARATUS FOR VERIFYING RESULT OF MASK PATTERN CORRECTION マスクパターン補正結果検証方法およびマスクパターン補正結果検証装置 - 特許庁
To provide a resist pattern with a new constitution and a method for manufacturing the resist pattern. 新規な構成のレジストパターン及びこのレジストパターンの作製方法を提供する。 - 特許庁
To provide a pattern forming method capable of efficiently designing a pattern. 効率的なパターン設計を行うことが可能なパターン作成方法を提供する。 - 特許庁
PATTERN PROGRAM CREATION SUPPORT DEVICE, PATTERN PROGRAM CREATION SUPPORT METHOD AND COMPUTER PROGRAM パターンプログラム作成支援装置、パターンプログラム作成支援方法およびコンピュータプログラム - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE HAVING UNEVEN PATTERN, AND STRUCTURE HAVING UNEVEN PATTERN 凹凸パターンを有する構造体の製造方法、凹凸パターンを有する構造体 - 特許庁